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红外线灯管加热装置 (用于半导体材料及电子材料)RTA系列

红外线灯管加热装置 (用于半导体材料及电子材料)

  • 价 格: 电议
  • 型号:RTA系列
  • 生 产 地:日本
  • 访问:870次
  • 发布日期:2009/11/2(更新日期:2009/8/6)

弘埔技术(香港)有限公司

  • 提示:如果您未采购满意的产品,请在网页头部搜索更优质的产品
产品展示

半导体器件的集成化,高密度化,热处理由过去的一个元件工艺处理,到至今的多元件连续工艺处理,以是现在我们所研究的课题。从硅片到化合物,在细微的技术方面我们都会满足用户的需求。
  • 详细内容
  • 公司简介

     线灯管加装置 RTA系列

 

(用于半导体材料及电子材料)

 

 

半导体器件的集成化,高密度化,热处理由过去的一个元件工艺处理,到至今的多元件连续工艺处理,以是现在我们所研究的课题。社常年所培育的红外线金面反射炉的快速加热技术,从研究开发到生产制作为一体的科研和生产体制充分体现于多式样连续化热处理的红外线灯管加热装置RTA系列的商品化。式样尺寸为450mm4200mm。从硅片到化合物,在细微的技术方面我们都会满足用户的需求。

 

用途

注入离子后的活性化退火。
氧化薄膜生成退火。
欧姆电极的烧结。
PZT, SBT
等强诱导体薄膜的结晶化退火。

发光素子,半导体激光基板的退火。

 

特长

加热气氛为真空,气体,流动气体,大气。
炉壁是由金面构成,可同时进行高速加热和高速冷却。
由红外线灯管组成9个独立加热区,分析可以调节加热功率,具有良好
的温度分布。
适用于450mm4200mm尺寸的半导体基板。
配有防止氧化所产生试样卷曲的功能。选择

 

技术指标

型号

VHC-P610

RTP3000

RTP4000

RTP6000

RTP8000

硅片尺寸mmφ

50

75

100

150

200

温度传感器

TC

TC

TC/高温计

TC/高温计

TC/高温计

温度范围MAX

1200

加热速度

50/sec

100/sec

50/sec

100/sec

100/sec


弘埔技术(香港)有限公司是先进实验室检测设备专业供应商,致力于为不同行业的客户提供最优秀和切合需要的材料测试解决方案。 作为日本上岛制作所在中国的代理店,我们将与客户紧密联系,以我们专业的技术、一流的设备和服务为橡胶塑料行业客户提供实际需要的高性能试验机。 株式会社上岛制作所创立于1916年(大正5年),主要是向橡胶、塑料、涂料等产业领域提供符合ISO 、JIS、ASTM 为主的国际先进工业标准的试验机。 作为高分子材料综合试验机老牌厂商,上岛制作所试验机在橡胶、塑料等相关领域有着广泛的用途,不仅在日本国内,而且也得到了其他海外客户的好评。其中在耐环境性、加工特性、动态特性、动态耐久性及试验片制作方面,采用了许多新技术,作为有特色的产品取得了很多的实绩。 近年来,为了顺应各个工业产品进一步高附加值化、缩短产品开发周期以及控制成本的要求,以研究开发、品质管理上普遍使用的试验机为主,并致力于在磨耗、摩擦、粘弹性分析的完全自动化,与客户进行特殊试验机共同开发。 作为试验机厂家,上岛制作所没有停留在不断提供符合工业标准的试验机层次上,而把其作为最大的课题来探求真正满足客户需求的是什么样的试验机。这其中获得的宝贵教益,即为能够获得与产品性能有准确关联数据的试验机。 上岛制作所将“产品试验可在实验室模拟再现的试验机”作为口号,今后将进一步探求客户所需的试验机,提供满足各个领域需求的可靠性高的试验机,与客户共同向前迈进。主要产品:高分子材料加工特性(门尼粘度仪、橡胶硫化仪),动态特性(全自动粘弹分析仪、回弹性测试仪),动态耐久性(De Mattia屈扰试验机、定应力/定应变疲劳试验机、FPS磨耗试验机、轮毂摩擦试验机),耐环境性(热老化性、低温脆化试验机、TR弹性恢复试验机、热变形维卡测试仪),试验片制作等各种性能测试仪

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