Alpha-Step IQ 是一种先进的探针接触式表面轮廓仪,集高测量精度、多功能性和经济性于一体,是试行生产线及材料分析的理想选择。在其8 Å(1δ)或0.1%的台阶高度重复性以及亚埃级别的分辨率的保证下,Alpha-Step IQ能够为工艺过程的分析和监控提供最佳的重复性和性能。该仪器提供了一整套完备的二维表面形貌分析方法,适用于各种表面,包括:半导体硅片、MEMS、微电子陶瓷、SIMS、光学表面和平面显示。Alpha-Step IQ 另外还提供了丰富的选件,如:更高的垂直测量范围、用于样品定位的更大倍率的摄象头机、集成的数据处理软件和支持多语言显示等等,以满足用户各种不同的需求。计算机化的系统更提供了联网和USB通讯的强大功能。Alpha-Step IQ 能帮助您更及时地了解工艺状况以及提高产量。
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