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光切法显微镜规格：
测量范围不平度平均高度值 （微米） | 表面光洁度
级 别 | 所需物镜 | 总放大倍数 | 物镜组件 工作距离 （毫米） | 视 场 （毫米） |
＞0.8～1.6 ＞1.6～6.3 ＞6.3～20 ＞20～80 | 9 8～7 6～5 4～3 | 60倍N.A.0.55 30倍N.A.0.40 14倍N.A.0.20 7倍N.A.0.12 | 510倍 260倍 120倍 60倍 | 0.04 0.2 2.5 9.5 | 0.3 0.6 1.3 2.5 |
摄影装置放大倍数 约6倍
测量不平度范围 (0.8～80)微米
不平宽度 用测微目镜 0.7微米～2.5毫米
用坐标工作台 (0.01～13)毫米
仪器重量 约23公斤
光切法显微镜外形尺寸 约180×290×470毫米
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