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LCD液晶玻璃基板清洗腐蚀减薄系列设备
此设备是应用于液晶市场的一种先进的液晶腐蚀减薄设备。设备配有.可靠的控制系统以及可视入机界面，.可根据用户要求提供非标工作盘，全自动触摸屏，可设置和存储设备工作工艺菜单，另配.高压去离子水泵、高纯氮气吹干系统；.内置真空发生器与自动排水装置，可以对液晶片定位框架的安全锁定。设备操作全自动控制，为您节省人工工时。
设备操作面带有倾斜式推拉透明PVC门窗，由机架部分、箱体部分、电气部分、槽体部分、管路部分、抽风六部分构成。槽体部分七个槽位构成，槽体材质采用具有高防腐性能的进口PVDF材料（德国聚偏二氟乙烯槽）以及
设备整体采用德国10mm （5MM）厚NPP板或PP板 热弯/焊接组合加工而成，槽体实现腐蚀或后残留在片子上的化学液及污染颗粒的冲洗祛除功能。它由安装在槽体底部的快排阀、DI注入孔（包括氮气鼓泡）及顶
本设备适用于去除硅晶圆片工件表面的油污及其他有机物、除胶、去金属离子等。设备由清洗槽部分、伺服系统及机械臂部分、层流净化系统、电气控制系统、机架及整机部分组成。 .清洗槽部分由有机溶剂槽、去离子水槽、
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