立式半导体外延石英炉管钟罩清洗机

立式半导体外延石英炉管钟罩清洗机
该设备广泛适用于各种尺寸外延石英炉管钟罩的清洗腐蚀。设备整体采用德国进口优质NPP 材质板材焊接而成，操作方式为全自动。工艺过程为：上料槽1→清洗液1浸泡→清洗石英管内外表面→上料槽2→清洗液2浸泡→清洗石英管内外表面→下料 各槽体均采用德国进口聚丙烯（NPP）板，骨架采用优质不锈材料制作，上水管件采用PVDF材质，德国进口聚偏二氟乙烯作下水材质：德国PP 板作柜体窗板：德国进口透明聚氯乙烯（PVC）或德国进口聚丙烯（PP）作柜体材质。设备前面带有透明门窗。 槽下设有接漏盘，漏盘装有漏液报警装置。 槽盖密封采用U型结构，以保证其密封效果良好。 酸槽1、2槽中间设有DI水清洗槽，有冷热DI水上给水，便于配酸和冲洗槽体，石英管，给水龙头可旋转。 槽1酸液排放为虹吸上排式，槽2酸液排放为自排式。 此外，机台配有排风装置。另配美国进口水枪、氮气喷枪各一支和内置设照明装置，设备技术先进，科技含量高，各种配置匀为国内首创。