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精确地探测大气中高浓度的水-大约(%V01)是一项富有挑战性的技术。Teledyne公司充分利用其50年的专利技术,成功地开发出了ppb/ppm级水分析仪,生产了备受赞誉的微量水分析仪-8800系列。
核心产品—超薄膜(HTF)Al2O3技术
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8800系列采用超薄膜(HTF)Al2O3技术,可精确地探测任何场合下的微量水。
所有的Al2O3传感 器遵循的工作原理:上层金膜、下层为铝。氯化铝层的水含量变化引起介电常数的改变,导致电容的改变。从而检测出水的含量。
8800系列采用的HTF超薄膜技术与其它传统的氧化铝传感器相比具有杰出的线性和稳定性,回应时间快。
HTF层
HTF传感器有极薄的氧化层且不影响氧化层的强度。氧化层越薄则电容变越大信号也越强。
隔离层
HTF传感器中,在氧层与铝层之间是均匀的几何孔洞,内层产生电容和电极紧密连接,轮流导致传感器强湿度到干容量比率。这样益处是受温度、电噪音和老化漂移等干扰因素影响小。
几何原理 :HTF与传统传感器最大的区别在于采用几何孔洞原理。
传统传感器依赖吸湿性Al2O3构造吸附水,HTF传感器设计成电介质在孔洞中的改变导致电容的改变。几何孔洞在测量过程中结构变化很小,传感器不易老化并保持长期稳定,寿命长。一般情况下不需标定。
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