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设计特点
· 热式原理
· 一体化设计
· 满量程从 5SCCM 到 1000SLPM
· 响应时间不超过 2 秒钟
· 操作压力可达 20MPa
· 对安装位置不敏感
· 316SS 材质,允许测量腐蚀性气体
· 无直管段安装要求
· 单电源供电
技术参数
流量范围 :从 0-5SCCM 到 0-1000SLPM N 2 ,具体请参考表一
响应时间 : 1 ~ 2 秒
精 度 : ± 1% 满量程(除 204A 型);
---------± 1.5% 满量程( 204A 型)
重 复 性 : ± 0.2% 满量程
量 程 比 : 50:1 ( 2%-100% 满量程)
环境和操作温度 : -10 ~ 70 ℃
最大操作压力 : 3000PSIG ( 20MPa ) ,具体请参考表一
零点漂移: ± 0.05 % 满量程 / ℃
范围漂移 : ± 0.05 % 读数 / ℃
压力漂移 : 0.1%/atm (相对于 N 2 )
安装方向 : 对位置不敏感
预热时间 : 10 分钟
电气连接 : 卡式 ( 20 针)或 D 型( 9 针)
设定点输入流量信号输出 :0-5VDC/0-5VDC (最小负载电阻 2K Ω );
-------------------------0-10VDC/0-10VDC (最小负载电阻 3K Ω );
-------------------------1-5VDC/1-5VDC (最小负载电阻 2K Ω );
-------------------------4-20mA/4-20mA (请参考下面的说明);
-------------------------1-5VDC/4-20mA (请参考下面的说明)
对于流量信号输出为 4-20mA 的负载电阻:
环路电压为 6.5-15VDC 时: 0-450 Ω
环路电压为 15-30VDC 时: 200-750Ω
供应电源 :
电压输出:+ 12( ± 5 % ) (仅适用于 0-5VDC 和 1-5VDC 流量信号输出)或 +15( ± 10 % )VDC
电流输出:+ 15( ± 5 % ) 或 +24( ± 15 % )VDC
电流消耗:< 250mAdc
重 量 :请参考表一
结构材质;
主体: 316SS
传感器组件 : 316LSS
孔: 316SS
阀构成部件 (接液):
302SS , 316SS , 430FSS , Sandvik?1802 (除 202 、 221 、 222 和 251 型);302SS , 316SS , Sandvik?1802 ( 202 、 221 、 222 和 251 型)
密封材质(” O ”型环和阀座):
Buna N , EPDM , Kalrez , Neoprene , Viton (除 202A 、 203A 和 204A 型);Buna N , Viton ( 202A 、 203A 和 204A 型)
过程连接: 316SS
----------------------------------表 一
型 号 | 流量范围 最小 / 最大 | 最大操作压力PSIG ( MPa ) | 重 量lbs ( Kg ) | |
201 | 0-5SCCM/0-10SLPM | 1000 ( 6.9 ) | 1.2 ( 0.54 ) | |
202 | 0-10SLPM/0-100SLPM | 1000 ( 6.9 ) | 4.1 ( 1.86 ) | |
221 | 0-5SCCM/0-10SLPM | 3000 ( 20.7 ) | 4.1 ( 1.86 ) | |
222 | 0-10SLPM/0-100SLPM | 3000 ( 20.7 ) | 4.1 ( 1.86 ) | |
251 | 0-10SLPM/0-50SLPM | 1000 ( 6.9 ) | 1.4 ( 0.64 ) | |
202A | 0-10SLPM/0-100SLPM | 200 ( 1.4 ) | 5.1 ( 2.31 ) | |
203A | 0-100SLPM/0-500SLPM | 200 ( 1.4 ) | 10.9 ( 4.94 ) | |
204A | 0-500SLPM/0-100SLPM | 200 ( 1.4 ) | 10.9 ( 4.94 ) |
订货时须提供以下信息:
1 、产品型号
2 、电气接口
3 、设定点输入 / 流量信号输出
4 、密封材质(阀座 / “ O ”型环)
5 、接口尺寸和类型
6 、流量范围
7 、介质(气体类型)
8 、工作温度
9 、入口压力 P1
10 、出口压力 P2
11 、标定温度(如 0 ℃ 、 20 ℃、21.1℃、25℃ )
12 、其它要求
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