小型离子溅射仪

北京和同创业科技有限责任公司

本仪器主要适用于扫描电子显微镜样品镀膜导电膜(金膜),仪器操作简单方便, 〈br〉
是配合中小型扫描电子显微镜制样必备的仪器。

技术参数

靶（上部电极）：材料：金，直径：64mm，厚度：0.12mm(大约)
真空室：直径：160mm，高：120mm
样品台（下部电极）：溅射面积：直径：64mm，最大放置样品数量：16个
离子电流表：最大电流：100mA
定时器：最长时间：900S
最高电压： -1600V
机械泵: 2升/每秒

主要特点

轻便、溅射面积大
靶材可按用户要求加工制作

冷却循环水机

制冷量：1KW-120KW 〈br〉水温控制范围：+5~+25℃ 〈br〉控温精度：±1℃ 〈br〉水压：0.17-0.54MPa 〈br〉流量：0.5~3.5m3/h 〈br〉所有机型水压

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