涂镀层测厚仪

X-strata960X射线荧光镀层厚度测量仪

基于25年涂镀层测量经验，在CMI900系列测厚仪的坚实基础上，引进全新的设计：

&#8226；新100瓦X射线管 - 市场上所能提供的最强大的X射线管。提高30%测量精度，同时减少50%测量时间

&#8226；更小的X射线光斑尺寸 - 新增15mil直径准直器，可测量电子器件上更小的部位。提供改进的CCD摄像头及缩放装置，同时提供更高精度的Y轴控制。

&#8226；距离独立测量（DIM） - 更灵活地特殊形状样品，可在DIM范围内12.5-90mm（0.5-3.5inch）对样品表面进行测量，Z轴可控制范围为230mm（9inch）。可通过手动调整也可以通过自动镭射聚焦来实现对样品的精确对准。

&#8226；自动镭射聚焦 - 自动寻找振决的聚焦距离，改善DIM的聚焦过程并提高系统测量再现性。也可选择标准的镭射聚焦模式。

&#8226；全新的大型样品室 - 更大的开槽式样品室（580x510x230mm : 23x20x9inch）,开槽式设计可容纳超大尺寸的样品。可从各个方向简便的装载和观察样品。

&#8226；3种样品台选项 - XY程控控制(200x200mm或8x8inch移动范围)/XY手动控制（250x250mm或10x10英寸）/固定样品台；标准配置Z轴程控控制(230mm或9inch移动范围)。

&#8226；内置PC用户界面　

X-Strata 960测厚仪

主要应用领域：

用于高精度要求的高级别测厚仪

电路板/半导体/连接器端子/五金贵金属电镀

（如1.0uinch Au，Ag…）

主要特点:

X-Strata 960 X荧光射线测厚仪，可快速测定各种材料构成

的多层镀层厚度和元素组成。长寿命100瓦微焦点X射线管

（其它测厚仪为50瓦）。提高30%分析精度和减少50%的分

析时间三种样品台可供选择:程控XYZ轴:300 x 200 x 230mm；

手动XY轴：250 x 250mm＋230mm程控Z轴；固定位置样品台，

最大高度230 mm更小准直器,测量更小区域:最小直径15um

圆形准直器，20x/80xCCD图像放大倍数自由距离测量DIM：

更灵活地测量不规则样品（凹凸）,在12.5~102mm自由聚

焦范围内可准确聚焦样品表面任意测量点。并有自动雷射

聚焦功能 一体机工作站式设计，简化设备安装，减少占用

空间。

仪器介绍:

960系列 X射线荧光测厚仪样品台采用箱体式设计‘能

测量多种几何形体、各种尺寸的样品’，测定方法满足

ISO3497、 ASTM B568和DIN 50987

技术参数:

元素范围: Ti22 – U92 同时分析层数和元素定量:5层

(4层+基体)；最多同时15种元素定量

X射线激发:100瓦(50kV-2.0mA)微焦点钨靶X射线管

（可选钼靶X射线管）

X射线检测: Xe封气正比计数器，可最多装备3种二次

滤光片

准直器: 最多4种，多种规格备选样品形态: 电镀、

涂镀、薄膜、合金、液体、等等

数字脉冲处理器:4096通道数字多道分析器,包含自动

波谱校正和Pulse Pile Rejection功能

CCD: 1/3” CCD 640 x 512 Pixel array, 500 line/inch

电源: 85-130V或者215-265V、频率47-63Hz

工作环境: 10－40℃、相对湿度小于98%，无冷凝水

样品台移动量: 程控XYZ轴：300 x 200 x 230mm； 手

动XY轴：250 x 250mm＋230mm程控Z轴

仪器尺寸:H744 x W686 x D813

重量: 160公斤