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所有R5系列真空泵具有下列之共同特性:
1. 设计精密.结构坚固.重量轻.易于安装及维护.
2.空气冷却（气冷式）
.3.值结式驱动,可避免转动皮带及齿轮之松弛或损耗.
4.含高效率油雾过滤器,不须将气体排出室外.
5.进气口有逆止阀,当泵浦停止时,此逆止阀可隔离泵浦于系统,避免真空油逆流.
6.低震动,不需用基础螺拴固定泵浦.
7.运转声音小
.8.具气体压载阀,可适用于蒸气之制程.
9.具气体压载阀，可适用于大量蒸气之制程。即在真空度0.5mbar到40mbar之间进入泵浦入口之水蒸气,会从泵浦出气口完全排出,
而不会在泵浦内发生凝结现象.
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