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1200℃高真空PECVD系统YHGS-120613I-3ZGPE

1200℃高真空PECVD系统

  • 价 格: 电议
  • 型号:YHGS-120613I-3ZGPE
  • 生 产 地:中国大陆
  • 访问:13次
  • 发布日期:2017/1/5(更新日期:2017/1/5)

上海煜志机电设备有限公司

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产品展示

PECVD工艺中由于等离子体中高速运动的电子撞击到中性的反应气体分子,就会使中性反应气体分子变成碎片或处于激活的状态容易发生反应;借助射频等使含有薄膜组成原子的气体,在局部形成等离子体,而等离子体化学活性很强,很容易发生反应,在基片上沉积出所期望的薄膜;
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 产品简介:

    PECVD工艺中由于等离子体中高速运动的电子撞击到中性的反应气体分子,就会使中性反应气体分子变成碎片或处于激活的状态容易发生反应;借助射频等使含有薄膜组成原子的气体,在局部形成等离子体,而等离子体化学活性很强,很容易发生反应,在基片上沉积出所期望的薄膜;具有基本温度低、沉积速率快、成膜质量好、针孔较少、不易龟裂等优点;

1200℃高真空PECVD系统通过滑动炉体来实现快速的升降温,配置不同的真空系统来达到理想的真空度;同时通过多路高精度质量流量计控制不同气体。 主要应用于高校、科研院所用于真空镀膜、纳米薄膜材料制备,生长薄膜石墨烯,金属薄膜,陶瓷薄膜,复合薄膜等,也可作为扩展等离子清洗刻蚀使用。

二、主要技术参数:

炉体结构

整机采用SUS304不锈钢材质,流线型外观,断热式结构

日本技术真空吸附成型的优质高纯氧化铝多晶纤维固化炉膛,保温性能好

炉子底部装有一对滑轨,移动平稳

炉子可以手动从一端滑向另一端,实现快速的加热和冷却

炉盖可开启,可以实时观察加热的物料

电源

电压:AC220V 50/60Hz;功率:4KW

炉管

高纯石英管,高温下化学稳定性强,耐腐蚀,热膨胀系数极小

尺寸:Φ60*1200mm

法兰及支撑

SUS304不锈钢快速法兰,通过用高温“O型圈紧密密封可获得高真空

一个卡箍就能完成法兰的连接,放、取物料方便快捷

可调节的法兰支撑,平衡炉管的受力支撑

包含进气、出气、真空抽口针阀,KF密封圈及卡箍组合

加热系统

加热元件采用优质合金丝0Cr27Al7Mo2,表面负荷高、经久耐用

加热区长度:300mm

恒温区长度:150mm

工作温度:≤1150

最高温度:1200

升温速率:10/min

温控系统

日本富士温控仪表,64段控温程序,可分步、分段

 

混气系统

三路质量流量计:数字显示、气体流量自动控制

内置不锈钢混气箱,每路气体管路均配有逆止阀

管路采用不锈钢管,接口为Φ6卡套

每路气体进气管路配有不锈钢针阀

通过控制面板上的旋钮来调节气体流量

流量规格:0~200sccm

流量精度:±1.5%

高真空真空系统

采用双级旋片真空泵+分子泵,极限真空可达4.0*10^-4Pa

复合真空计,配置电阻规+电离规

抽速:110L/S

冷却:风冷

电源:AC220V 50/60Hz

射频电源系统

输出功率:0-300W 

功率稳定度:±0.1%

射频电源频率:13.56MHz 稳定性±0.005% 

最大反向功率:120W      

射频电源电子输出端口:UHF

冷却:风冷

电源:AC187-253V 50/60Hz

可选配件

混气系统,中、高真空系统,各种刚玉、石英坩埚,石英管,计算机控制软件,无纸记录仪,氧含量分析仪。

 


上海煜志机电设备有限公司是一家专注于新材料、新能源全套设备研发生产销售一体的高科技企业,公司下设三个事业部(仪器设备事业部、新材料事业部、新能源事业部)和一个实验测试中心。仪器设备事业部提供从“研磨、混合、分散均质乳化-干燥-成型-高温烧结-切磨抛-测试”一条龙服务,为您的材料实验室量身定制全面的解决方案,我们可根据您的工艺要求,将您的科研成果同步放大,真正实现实验室到批量生产的无缝对接。主要产品有:研磨、混合、分散均质乳化设备(球磨机、粉碎机、研磨分散乳化机);干燥设备(喷雾干燥机、真空干燥箱、流化床干燥机);成型设备(压片机等);高温烧结设备(箱式炉、管式炉、CVD系统、真空烧结炉、真空熔炼炉及各种非标加热炉);切、磨、抛设备(切割机、研磨机、抛光机);测试设备(硬度计、金相设备、显微镜等)。新材料事业部与多所高校和研究所展开紧密合作,可提供多种陶瓷、薄膜、晶体的制备工艺及成套设备,在碳材料方面可提供石墨烯、碳纤维、碳纳米管及气凝胶烧结的整套解决方案。我们开发的成套设备有:机械剥离法石墨烯粉体生产线、石墨烯薄膜卷对卷连续制备系统、碳纤维规模生产线、碳纳米管连续制备装置、大尺寸气凝胶烧结设备等。新能源事业部是在国家清洁能源与可再生能源发展战略背景下,围绕国家能源“十三五规划”中的太阳能、风能以及分布式储能等系统中传热、储热熔盐系统的需求成立的,专门针对熔盐在传热储能等应用中的关键问题,为客户提供优质的熔盐化学化工技术与设备的专业提供商、服务商和集成商。长期与中国科学院上海应用物理研究所,中国科学院上海有机化学研究所,中国工程物理研究院材料所等研究院所合作,开发设计了一系列高温熔盐熔融设备、熔盐存储转运设备、熔盐电解精炼系统、熔盐关键物性检测设备等高温熔盐相关设备与系统,成功解决了熔盐熔融制备、净化存储、分析检测、传热储能等应用中的诸多关键技术问题。公司拥有多名高级顾问,均来自国内外顶级科研单位和高等学府,其中研究员3人,博士5人,硕士5人,他们长期从事化工机械、先进材料、新型熔盐等方面的研究,为公司的发展有效的提供了智力支持和技术保障。公司坐落在上海市嘉定工业园区,占地面积超10亩,交通便利,沈海高速朱桥出口即到。“致力创新、助力科研”,我们愿为新材料、新能源的发展做出我们一点微薄的贡献。“煜耀东方、志在千里”,上海煜志机电设备有限公司全体员工期待您的光临!
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