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1200℃低真空CVD系统YHGS-120613

1200℃低真空CVD系统

  • 价 格: 电议
  • 型号:YHGS-120613
  • 生 产 地:中国大陆
  • 访问:20次
  • 发布日期:2017/1/5(更新日期:2017/1/5)

上海煜志机电设备有限公司

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产品展示

1200℃低真空CVD系统是由YGS-120610管式实验电炉,混气系统,真空及压力系统等组成。此系统烧结温度可达1200℃,通过滑动炉体来实现快速的升降温;配置不同的真空系统来达到理想的真空度;同时通过三路高精度质量流量计控制不同气体。是为石墨烯生长、研发的专用炉,也同样适用于要求升降温速度比较快的CVD实验。
  • 详细内容
  • 公司简介
 主要技术参数:

炉体结构

整机采用SUS304不锈钢材质,流线型外观,断热式结构;

日本技术真空吸附成型的优质高纯氧化铝多晶纤维固化炉膛,保温性能好

炉子底部装有一对滑轨,移动平稳

炉子可以手动从一端滑向另一端,实现快速的加热和冷却

支撑两端安装油压缓冲器

炉盖可开启,可以实时观察加热的物料

电源

电压:AC220V 50/60Hz;功率:4KW

炉管

高纯石英管,高温下化学稳定性强,耐腐蚀,热膨胀系数极小

尺寸:Φ60*1200mm

法兰及支撑

SUS304不锈钢快速法兰,通过用高温“O”型圈紧密密封可获得高真空

一个卡箍就能完成法兰的连接,放、取物料方便快捷

可调节的法兰支撑,平衡炉管的受力支撑

包含进气、出气、真空抽口针阀,KF密封圈及卡箍组合

加热系统

加热元件采用优质合金丝0Cr27Al7Mo2,表面负荷高、经久耐用

加热区长度:300mm

恒温区长度:150mm

工作温度:≤1150

最高温度:1200

升温速率:10/min

温控系统

温度控制采用人工智能调节技术,具有PID调节、自整定功能

30段升降温程序

测温元件:N型热电偶

恒温精度:±1℃

混气系统

三路质量流量计:数字显示、气体流量自动控制

内置不锈钢混气箱,每路气体管路均配有逆止阀

管路采用不锈钢管,接口为Φ6卡套

每路气体进气管路配有不锈钢针阀

通过控制面板上的旋钮来调节气体流量

流量规格:0~1SLM

流量精度:±1.5%

真空系统

采用双极旋片真空泵,真空度可达10Pa 

真空机械压力表+电阻真空计显示

可选高真空系统及真空计,压力控制系统等

可选配件

混气系统,中、高真空系统,各种刚玉、石英坩埚,石英管,计算机控制软件,无纸记录仪,氧含量分析仪。

 

 


上海煜志机电设备有限公司是一家专注于新材料、新能源全套设备研发生产销售一体的高科技企业,公司下设三个事业部(仪器设备事业部、新材料事业部、新能源事业部)和一个实验测试中心。仪器设备事业部提供从“研磨、混合、分散均质乳化-干燥-成型-高温烧结-切磨抛-测试”一条龙服务,为您的材料实验室量身定制全面的解决方案,我们可根据您的工艺要求,将您的科研成果同步放大,真正实现实验室到批量生产的无缝对接。主要产品有:研磨、混合、分散均质乳化设备(球磨机、粉碎机、研磨分散乳化机);干燥设备(喷雾干燥机、真空干燥箱、流化床干燥机);成型设备(压片机等);高温烧结设备(箱式炉、管式炉、CVD系统、真空烧结炉、真空熔炼炉及各种非标加热炉);切、磨、抛设备(切割机、研磨机、抛光机);测试设备(硬度计、金相设备、显微镜等)。新材料事业部与多所高校和研究所展开紧密合作,可提供多种陶瓷、薄膜、晶体的制备工艺及成套设备,在碳材料方面可提供石墨烯、碳纤维、碳纳米管及气凝胶烧结的整套解决方案。我们开发的成套设备有:机械剥离法石墨烯粉体生产线、石墨烯薄膜卷对卷连续制备系统、碳纤维规模生产线、碳纳米管连续制备装置、大尺寸气凝胶烧结设备等。新能源事业部是在国家清洁能源与可再生能源发展战略背景下,围绕国家能源“十三五规划”中的太阳能、风能以及分布式储能等系统中传热、储热熔盐系统的需求成立的,专门针对熔盐在传热储能等应用中的关键问题,为客户提供优质的熔盐化学化工技术与设备的专业提供商、服务商和集成商。长期与中国科学院上海应用物理研究所,中国科学院上海有机化学研究所,中国工程物理研究院材料所等研究院所合作,开发设计了一系列高温熔盐熔融设备、熔盐存储转运设备、熔盐电解精炼系统、熔盐关键物性检测设备等高温熔盐相关设备与系统,成功解决了熔盐熔融制备、净化存储、分析检测、传热储能等应用中的诸多关键技术问题。公司拥有多名高级顾问,均来自国内外顶级科研单位和高等学府,其中研究员3人,博士5人,硕士5人,他们长期从事化工机械、先进材料、新型熔盐等方面的研究,为公司的发展有效的提供了智力支持和技术保障。公司坐落在上海市嘉定工业园区,占地面积超10亩,交通便利,沈海高速朱桥出口即到。“致力创新、助力科研”,我们愿为新材料、新能源的发展做出我们一点微薄的贡献。“煜耀东方、志在千里”,上海煜志机电设备有限公司全体员工期待您的光临!
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