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CYG400高频动态压力传感器
产品综述：
在军事工程、化爆试验、石油勘采与试井、材料、力学、土木工程学、岩土力学、创伤医学、液压动力机械试验等科学试验与现代化仪器仪表中，需要不失真地测量一些变化频率高、压力波形上升快陡的动态压力波形与幅值、有效值，这就要求所用压力传感器具有高的固有频率、极短的上升时间和宽广优良的响应频带，以保证足够的动态测压精度，本系列产品即是为此设计开发的，它利用微机械加工技术使得集成硅膜片有效尺寸小，固有频率高;有优良的弹性力学特性，综合性能优于压电动态压力传感器，是动态测压的首选。
产品型号：
一、CYG401型(高频压力传感器)
1、特 点：采用感压膜片齐平封装设计，彻底消除管腔效应，因而传感器频响极高。
2、量程及动态特性：
量 程 MPa | 1 | 2 | 4 | 6 | 10 | 20 | 40 | 60 | 100 |
固有频率 KHz | 180 | 240 | 320 | 250 | 320 | 450 | 600 | 800 | 1000 |
上升时间 μs | 1 | 1 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.3 | 0.3 | 0.2 | 0.2 |
3、工作介质温度： -40℃～105℃，特殊措施下可耐瞬时超高温2000℃/20ms
4、补 偿 温 度： J级-10℃～60℃；M级0℃～50℃。亦可按用户要求特订。
5、抗 光 敏 感： J级可加强抗红外及可见光；M级抗可见光
6、精 度 档 级：
指标 档级 | 零点时漂 mv/8h | 零位温度系数 ×10-4/℃.FS | 灵敏度温度系数 ×10-4/℃.FS | 非线性 ±％FS | 不重复性、迟滞 %FS |
JA | 0.1 | 3 | 3 | 0.5 | 0.3 |
JB | 0.1 | 1 | 1 | 0.2 | 0.1 |
MA | 0.2 | 5 | 5 | 0.5 | 0.3 |
MB | 0.15 | 3 | 3 | 0.2 | 0.2 |
二、CYG402型(高频高温压力传感器)
1、特 点：本产品为国家攻关项目，采用耐高温S0I型感压膜片齐平封装设计，彻底消除管腔效应。
2、量程及动态特性：
量 程 MPa | 6 | 10 | 20 | 40 | 60 | 100 |
固有频率 KHz | 250 | 320 | 450 | 600 | 800 | 1000 |
上升时间 μs | 0.5 | 0.5 | 0.3 | 0.3 | 0.2 | 0.2 |
3、工作介质温度：-40℃～200℃，特殊措施下可耐瞬时超高温2000℃/100ms
4、补 偿 温 度：-10℃～150℃，亦可按用户要求特订
5、抗 光 敏 感：抗红外及可见光
6、精 度 档 级：
指标 档级 | 零点时漂 mv/8h | 零位温度系数 ×10-4/℃.FS | 灵敏度温度系数 ×10-4/℃.FS | 非线性 ±％FS | 不重复性、迟滞 %FS |
JA | 0.1 | 5 | 5 | 0.5 | 0.2 |
JB | 0.1 | 1 | 1 | 0.2 | 0.1 |
三、CYG404型(特种高温动态压力传感器)
特 点：本产品为特殊设计专用产品，国家863成果，采用耐高温SOI力敏元件，及特殊结构设 计，
从而保证传感器仍有较高频响的同时，具有耐平衡高温和瞬时超高温的能力，需特殊订货。
量 程：0～10MPa至0～60MPa全量程覆盖。
固有频率：大于20KHz
工作介质温度：耐平衡高温220℃、瞬时高温2000℃/1000ms（或协商特订）
四、CYG406型(动态微压传感器)
特 点：采用微机械加工微型压阻力敏芯片，及尽量避免管腔效应影响,同时又具有较好抗光影响及介
质导电性影响的准齐平结构设计,因而传感器在低微压量程有较优良的动态频率特性、静态特
性及宽的介质适应能力
量程及动态特性：
量 程 KPa | 1 | 4 | 10 | 25 | 10 | 250 | 600 |
固有频率 KHz | ＞5 | ＞5 | ＞20 | ＞100 | ＞150 | ＞300 | ＞300 |
上升时间 μs | 5 | 5 | 2 | 1 | 1 | 0.5 | 0.5 |
工作介质温度：-40℃～105℃，特殊措施下可耐瞬时超高温2000℃/20ms。
补 偿 温 度：J级-10℃～60℃；M级0℃～50℃。亦可按用户要求特订。
指标 档级 | 零点时漂 mv/8h | 零位温度系数 ×10-4/℃.FS | 灵敏度温度系数 ×10-4/℃.FS | 非线性 ±％FS | 不重复性、迟滞 %FS |
JA | 0.15 | 3 | 3 | 0.5 | 0.2 |
JB | 0.1 | 2 | 2 | 0.2 | 0.1 |
MA | 0.3 | 5 | 5 | 0.5(1.0＊) | 0.3 |
MB | 0.2 | 3 | 3 | 0.2(0.5＊) | 0.2 |
注：＊为4MPa以下量程参数
五、CYG409型(水冷高频高温压力传感器)
特 点：本产品为国家创新基金项目成果，采用SOI高温压阻力敏芯片，齐平封装，彻底消除管腔效应，
同时采用强制水冷结构，使得传感器在高温工况下仍具有极优良的高频动态特性。
量程及动态特性：
量 程 MPa | 1 | 2 | 4 | 6 | 10 | 20 | 40 | 60 | 100 |
固有频率 KHz | 180 | 240 | 320 | 250 | 320 | 450 | 600 | 800 | 1000 |
上升时间 μs | 1 | 1 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.3 | 0.3 | 0.2 | 0.2 |
气体介质温度：J级20℃～450℃；M级20℃～300℃。
供电电源：
传感器输出信号模式的产品，请用恒流源供电，供电电流大小参考产品卡片。无恒流源使用条件的用户，可在订货时说明恒压供电电压，我方可在传感器中加装恒流源，建议使用电压为15VDC或12VDC。
CYG1400高频动态压力变送器
各传感器型号均可配置下列宽带信号处理器，构成宽带动态压力变送器。传感器与信号处理器一体
式结构订货代号：YT；分体式结构订货代号：FT。凡订购动态压力变送器在原传感器型号三位前加“1”，
例：CYG401高频动态压力传感器，CYG1401 YT高频动态压力变送器。
宽带信号处理器，按带宽： 0～20KHz 订货代号MF
0～100KHz 上升时间1us， 订货代号HF
0～200KHz 上升时间0.5us， 订货代号UF
宽带信号处理器一律要求用户采用±15V线性电源供电，推荐采用朝阳军用电源。
动态压力变送器输出信号模式：0～5V（可按用户要求的电压输出模式特订）
注意：动态压力变送器的宽带信号处理器单元只能承受-20℃～100℃温度，高温动态压力变送器使用时
应注意合理使用。
六、CYG1411型（自由场高频动态压力变送器）
特 点：本系列是专为爆破力学实验设计的无反射自由场动态压力传感器，采用MEMS压阻芯片为敏感
元件，因而具有比压电传感器更高的固有频率，快一个数量级的上升时间，上升时间亚微秒
量级1～0.2μs。及从零频率开始的极宽频带响应，且信噪比极好。本产品内装宽带放大器，
可输出0～2V或0～5V的信号。
量 程：0～2MPa至0～60MPa全量程覆盖
固有频率：200KHz～1MHz 可用带宽：0～1/3固有频率
精度等级：
指标 档级 | 精度等级 %FS | 零位温度系数 ×10-4/℃.FS | 灵敏度温度系数 ×10-4/℃.FS | 零位短期时漂 %FS/24h | 长期稳定性 %FS/1年 |
JA | 1.0 | 5 | 5 | 0.2 | 0.5 |
JB | 0.5 | 3 | 3 | 0.15 | 0.3 |
JC | 0.25 | 1.5 | 1.5 | 0.1 | 0.1 |
| 昆山双桥传感器测控技术有限公司，位于江苏昆山享有"中国第一水乡"美誉的古镇周庄，是国家科技部昆山传感器产业基地,中科院高科技产业园的核心骨干企业之一。 公司以当前最先进的微纳米技术的MEMS（Micro Electronic Mechanical System）技术发展和压阻力敏传感器产品开发与生产为发展战略，同时开发多种类型传感器及自控仪表，自动化测控系统，具有自主知识产权。在中心设计部门—昆山双桥传感器研究所的努力下，公司相继承担的国家“八五”,“九五”,“八六三”科技攻关项目，已陆续完成了高温、高频、微型、强抗腐蚀等高难度压力传感器的开发与中试，为我国军工、科技等领域的测控技术与科学仪器仪表的发展做出了重大贡献，通过了ISO9001:2000认证，同时被评为昆山市2003年度十佳高新技术企业，是高级科仪传感器的著名生产厂家。 | |
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本系列微小型、超薄型及特殊形状的压力传感器采用了微型化设计的微机械加工工艺制作的集成压阻力敏元件，进行了精致巧妙的微型封装，具有优良的动静态特性。
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