便携式轮廓仪、粗糙度轮廓仪、轮廓仪

技术参数:
(1) 类型： CCI 干涉（相位相干干涉）
(2) 测量量程： 100 um （可选400um）
(3) 分辨率： 0.1 A—在100微米量程范围内
(4) RMS重复性： 0.03A ( 3pm )
(5)垂直扫描速度： 7 um/s
(6) 测量点数： 1,048,576 ( 1024 x 1024 点阵 )
(7) X Y 轴测量范围： 0.36 – 7.2 mm
(8) X Y 轴分辨率： 0.36um
(9) 台阶高度的重复性： 0.1 nm （25nm）
(10) Z 轴的线性度： 0.03% 的测量值
(11)系统噪音： 0.5A
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主要特点:
1.专利的相位相关相干算法
2.0.1nm分辨率
3.10-20秒测量时间
4.RMS重复性：0.03A
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PGI1250表面轮廓及非球面测量系统 :
。高精度测量系统 
。选择不同型号，适合一般应用，轴承或光学非球面测量 
。可提供12.5mm测量范围，分辨率高达0.8nm 
。强大的2D或3D多种软件 
其中非球面系统功能为： 
1、可完成非球面形状参数和粗糙度参数分析，进行实际形状与理论形状比较分析 
2、SAG表格：可按光学软件格式，输出整个面形各点的矢量高和斜率对应表 
3、完成未知非球面的逆向工程
4、不受非球面角度影响，可测量到90度角