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美国VARIAN公司 氦质谱检漏仪
VS系列氦质谱检漏仪
性能指标 | PR02 | MR15&MD30 |
性能 | 前级泵内置式 | 前级泵外置式及小车 |
前级泵 油式机械泵 | DS-42 2 m3/hr (34 l/m) | DS-302 14 m3/hr (232 l/m) |
涡卷式干泵 | N/A | TS-620 30 m3/hr (500 l/m) |
最小可检漏率在1000ppm的氦气背景下 | 5×10-12 atm cc/sec; 5×10-12 mbar l/s;5×10-13 Pa m3/sec helium | |
测试口最高耐压 | 16 mbar,12 Torr,1600 Pa | |
测试口处对氦气抽速 | 1.8 l/s | |
校准程序 | 自动或手动(内置或外置) | |
氦本底清零 | 按键清零,并具有零点追踪功能 | |
操作界面 | 高清晰彩显,TFT触摸屏 | |
语言选择 | 中文/英语/法语/德语/日语/韩语/西班牙语 | |
循环检测 | 可编程粗抽时间/测试时间,设置报废点 | |
响应时间 | <1.0秒 | |
设定点 | 标准;5个设定点;常开或常闭;3个漏率点;1个压强点;1个声讯点 | |
通讯协议 | RS-232 通讯借口,9600波特率(9芯窜口) | |
执行标准 | UL,CE,CSA |
利方达集团公司是一家从事各种真空设备及零部件的销售,服务及技术支持和生产开发的专业公司,公司总部设在香港,在深圳、上海开设了分公司。
主要业务有:
1、专业代理美国COMDEL公司射频及微波电源.
2、专业销售美国AALBORG公司的质量流量计和控制器。
3、专业销售美国Telemark公司的电子枪和光学膜厚控制仪等.
主要产品有:电子枪(E-Beam Sources)及电源,水蒸汽低温冷阱(Water Vapor Cryotraps), 全光谱光学膜厚控制仪OM820(In-Situ Spectroscopic Optical Monitor), 光谱等离子体化学监控仪(Plasma Chemistry Monitors)
4、专业销售美国Maxtek公司的石英晶体膜厚控制仪,传感器
其主要产品有:SC系列石英晶片(5MHz,6 MHz), S,D,B,R系列晶振传感头(单晶,双晶,6晶,可烘烤,可调节), TM-100,TM-350,TM-400薄膜沉积监测仪, MDC-360C/361C薄膜沉积控制仪
5、专业销售美国Essential Macleod 薄膜设计及分析软件
6、专业销售美国瓦里安(VARIAN)真空泵系列产品,包括分子泵、机械泵、干泵、真空计、检漏仪、。销售各种真空阀门、真空法兰等
7、专业销售英福康(Inficon)公司的真空计,真空测量规管,捡漏仪,石英晶控,四级质谱。
8、专业销售英国PLASMA QUEST公司磁控溅射镀膜设备。
9、专业销售美国安斯超科学公司(Angstrom sciences, Inc)的圆形磁控溅射阴极、矩形磁控溅射阴极、各种靶材、溅射阴极翻新.
10、专业销售德国森泰科学仪器公司(SENTECH INSTRNMENTS)的等离子刻蚀沉积设备。
11、专业销售美国微光电子(MICRO PHOTONICS )的单波长和全光谱椭偏仪。
12、真空非标产品的研发生产:无油超高真空排气台、真空炉、氢气炉、真空储藏柜、FPD系列真空光学镀膜机、磁控测射镀膜设备、电子枪、离子源。
我们的企业方针是“以人为本、科学管理、追求卓越、顾客至上、持续发展”。在德国归国博士钱锋总经理的带领下,我们以良好的诚信和售后服务赢得了广大客户的肯定和信任, 我们的产品广泛用于真空,光学、电子、半导体、平板显示等相关领域,期待您的来电咨询及业务洽谈,谢谢!
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