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设计性能:
1.不锈钢构造
2.最大压力500psig(34.5bars)
3.0~5Vdc或4~20mA信号
4.集成漏率1*10-9sml/sec (He)
5.精确度±1%F.S
6.备选总量计数器
7.具电路保护功能
AF型质量流量控制器是为显示和控制气体流量而设计的。
技术参数:
1.精确度: ±1% 满量程度FS (线性范围:气体T=15~25℃,压力=0.7~4.1bas);±2%F.S (线性范围:气体T=5~50℃,压力=0.35~10.3bars)
2.重复性: ±0.2%F.S
3.时间常数: AFM系列—300ms
AFC2600 (Qmax=15sL/min)—300ms
AFC3600 (Qmax=50sL/min)—600ms
AFC4600 (Qmax=100sL/min)—600ms
4.响应时间: AFM系列在设置流速(25~100% F.S)的±2%变化值之内的响应时间大约为1秒
5.温度系数: ±0.1%F.S/℃
6.压力系数: ±0.01%F.S/psi(0.07bars)
7.最佳气体压力: 25 psig(1.73bars)
8.最大的气体压力: 500 psig(34.5bars)max.标准校正压力为20psig(14bars)进气口压力
9.气体和环境温度: 5℃~50℃
10.漏率:最大漏率1*10-9smL/sec (He)
11.流体接触材料: 316或416不绣钢, Viton O型圈, 备选O型圈:Neoprene或Kalrez
12.安装敏感性: 倾斜度不大于±15%,标准校正安装姿势为水平位置
13.输出信号:0~5V (2000Ωmin,负载阻抗);4~20mA(0~500Ω,线圈电阻)线性的直流电信号。最大的峰值噪音20mV
14.连接口: AFM/AFC2600,AFM/AFC3600 -1/4” compression,fittings, AFM/AFC4600 - 3/8” compression fittings.
备选 1/8” or 3/8” compression fittings or 1/4” VCR® fittings.
15.传感器输入功率:AFM/AFC2600 ±15 ± 5% Vdc, 80 mA max,1.2W; ±15 ± 5% Vdc, 200 mA max, 3W;
AFC3600/AFC4600 ±15 ± 5% Vdc, 220 mA max, 3.3W; ±15 ±5% Vdc, 600 mA max, 9W.
16.电路保护:电路具极性方向保护,可更换的保险丝提供电源输入保护。
利方达集团公司是一家从事各种真空设备及零部件的销售,服务及技术支持和生产开发的专业公司,公司总部设在香港,在深圳、上海开设了分公司。
主要业务有:
1、专业代理美国COMDEL公司射频及微波电源.
2、专业销售美国AALBORG公司的质量流量计和控制器。
3、专业销售美国Telemark公司的电子枪和光学膜厚控制仪等.
主要产品有:电子枪(E-Beam Sources)及电源,水蒸汽低温冷阱(Water Vapor Cryotraps), 全光谱光学膜厚控制仪OM820(In-Situ Spectroscopic Optical Monitor), 光谱等离子体化学监控仪(Plasma Chemistry Monitors)
4、专业销售美国Maxtek公司的石英晶体膜厚控制仪,传感器
其主要产品有:SC系列石英晶片(5MHz,6 MHz), S,D,B,R系列晶振传感头(单晶,双晶,6晶,可烘烤,可调节), TM-100,TM-350,TM-400薄膜沉积监测仪, MDC-360C/361C薄膜沉积控制仪
5、专业销售美国Essential Macleod 薄膜设计及分析软件
6、专业销售美国瓦里安(VARIAN)真空泵系列产品,包括分子泵、机械泵、干泵、真空计、检漏仪、。销售各种真空阀门、真空法兰等
7、专业销售英福康(Inficon)公司的真空计,真空测量规管,捡漏仪,石英晶控,四级质谱。
8、专业销售英国PLASMA QUEST公司磁控溅射镀膜设备。
9、专业销售美国安斯超科学公司(Angstrom sciences, Inc)的圆形磁控溅射阴极、矩形磁控溅射阴极、各种靶材、溅射阴极翻新.
10、专业销售德国森泰科学仪器公司(SENTECH INSTRNMENTS)的等离子刻蚀沉积设备。
11、专业销售美国微光电子(MICRO PHOTONICS )的单波长和全光谱椭偏仪。
12、真空非标产品的研发生产:无油超高真空排气台、真空炉、氢气炉、真空储藏柜、FPD系列真空光学镀膜机、磁控测射镀膜设备、电子枪、离子源。
我们的企业方针是“以人为本、科学管理、追求卓越、顾客至上、持续发展”。在德国归国博士钱锋总经理的带领下,我们以良好的诚信和售后服务赢得了广大客户的肯定和信任, 我们的产品广泛用于真空,光学、电子、半导体、平板显示等相关领域,期待您的来电咨询及业务洽谈,谢谢!
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