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光干涉薄膜测厚仪

光干涉薄膜测厚仪

  • 价 格： 电议
  • 型号：
  • 生 产 地：德国
  • 访问：253次
  • 发布日期：2009/11/2(更新日期：1900/1/1)

科睿技术发展有限公司

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产品展示

该产品是一款价格适中、功能强大的膜厚测量仪器，近几年，每年的全球销售量都超过200台。根据型号不同，测量范围可以从10nm到250um，它最高可以同时测量4个膜层中的3个膜层厚度（其中一层为基底材料）。该产品可应用于在线膜厚测量、测氧化物、SiNx、感光保护膜和半导体膜。也可以用来测量镀在钢、铝、铜、陶瓷和塑料等上的粗糙膜层。
  • 详细内容
  • 公司简介
应用领域
理论上讲，我们的光干涉膜厚仪可以测量所有透光或半透光薄膜的厚度。以下为我们最熟悉的应用领域(半导体薄膜，光学薄膜涂层，在线原位测量，粗糙或弧度表面测量)：
□      晶片或玻璃表面的介电绝缘层(SiO2, Si3N4, Photo-resist, ITO, ...)；
□      晶片或玻璃表面超薄金属层(Ag, Al, Au, Ti, ...)；
□      DLC(Diamond Like Carbon)硬涂层；SOI硅片；
□      MEMs厚层薄膜(100µm up to 250µm)；
□      DVD/CD涂层；
□      光学镜头涂层；
□      SOI硅片；
□      金属箔；
□      晶片与Mask间气层；
□      减薄的晶片(< 120µm)；
□      瓶子或注射器等带弧度的涂层；
□      薄膜工业的在线过程控制；等等…
 
软件功能hspace=0
丰富的材料库：操作软件的材料库带有大量材料的n和k数据，基本上的常用材料都包括在这个材料库中。用户也可以在材料库中输入没有的材料。
软件操作简单、测速快：膜厚测量仪操作非常简单，测量速度快：100ms-1s。
软件针对不同等级用户设有一般用户权限和管理者权限。
软件带有构建材料结构的拓展功能，可对单/多层薄膜数据进行拟合分析，可对薄膜材料进行预先模拟设计。
软件带有可升级的扫描功能，进行薄膜二维的测试，并将结果以2D或3D的形式显示。软件其他的升级功能还包括在线分析软件、远程控制模块等。

硬件升级
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多通道测试，最多支持8个独立的同时测试                       6英寸、12英寸扫描样品台
 
hspace=0        hspace=0
         RTL透明样品专用夹具                           用于曲面结构的CSH探头
 
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            显微镜配适器

不同型号及规格
NanoCal-VIS           波长400 -850 nm, 膜厚50 nm.-20 μm (如SiO2 on Si)
                               分光计，A/D转换器，USB和RS232接口，卤素光源，反射探针，软件
NanoCal-NIR           波长650 -1100 nm, 膜厚70 nm.-70 μm
                               分光计，A/D转换器，USB和RS232接口，卤素光源，反射探针，软件
NanoCal-VIS/NIR    波长400 -1100 nm, 膜厚50 nm.-100 μm (选配1um-250um)
                               分光计，A/D转换器，USB和RS232接口，卤素光源，反射探针，软件
NanoCal-UV/VIS      波长250 -850 nm, 膜厚10 nm.-20 μm 
                               分光计，A/D转换器，USB和RS232接口，卤素光源，反射探针，软件
NanoCal-FULL         波长250 -1100 nm, 膜厚10 nm.-70 μm
                               分光计，A/D转换器，USB和RS232接口，卤素光源，反射探针，软件
NanoCal-NIR-HR     波长700 -978 nm, 膜厚1um-250um(选配400um)，高分辨分光
                               计，A/D转换器，USB和RS232接口，卤素光源，反射探针，软件
NanoCal-512-NIR    波长900 -1700 nm, 膜厚50 nm.-200 μm  InGaAs-512阵列分光                                 计，A/D转换器，USB和RS232接口，高能卤素光源，反射探针，软件

NanoCal 软件                单层膜测量、模拟、分析，支持Windows环境；
NanoCal MS 软件          多层膜测量、模拟、分析，支持Windows环境
NanoCal Mapping软件   配合6”或12”扫描台使用，完全3D数据；
NanoCal Online软件      在线原位分析软件；
NanoCal Remote软件    远程控制软件模块

科睿技术发展有限公司(Cross-Tech)为多家国外高科技仪器厂家在中国地区的独家代理。科睿公司一贯秉承『诚信』、『品质』、『服务』、『创新』的企业文化，为广大中国用户提供最先进的仪器、设备，最周到的技术、服务和完美的整体解决方案。在科技日新月异、国力飞速发展的中国，纳米科学研究、薄膜材料(包括半导体)生长和表征、表面材料物性分析、生物药物开发、有机高分子合成等等领域，都需要与欧美发达国家完全接轨的仪器设备平台来实现。科睿公司有幸成长在这个火热的年代，我们愿意化为一座桥梁，见证中国科技水平的提升，与中国科技共同飞速成长。

科睿技术发展有限公司(Cross-Tech)总部设在中国香港，在中国上海设立了分公司，在国内多个城市设立了办事处或维修站，旨在为客户提供全方位的产品和服务。

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