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多功能磁控溅射仪(溅射、热蒸发、电子束蒸发)

多功能磁控溅射仪(溅射、热蒸发、电子束蒸发)

  • 价 格: 电议
  • 型号:
  • 生 产 地:德国
  • 访问:330次
  • 发布日期:2009/11/2(更新日期:1900/1/1)

科睿技术发展有限公司

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产品展示

多种薄膜沉积设备,PECVD、ALD、PLD、MBE、磁控溅射、电子束蒸发、热蒸发等。详细介绍请登陆公司网页。
http://www.cross-tech.com.cn/
  • 详细内容
  • 公司简介
技术参数
腔体尺寸: Ø300mm,400mm高;
泵体:260l/s Turbo泵,含有泵前过滤膜;
蒸发方式: 用户可选择热蒸发(boat evaporation or crucible), 电子束蒸发或溅射蒸发;
样品夹具: 多类型,有rotation, heating, cooling, biasing;
样品尺寸可到Ø250mm,或者多个小样品;
设备大小:一般 495 X 555 X 1302毫米;
 
主要特点
此系统包含大多数的真空薄膜镀层技术: 热蒸发(boat evaporation or crucible),电子束蒸发,溅射沉积。
这样我们在一台设备上可以灵活运用多种膜生长技术,针对各种不同大小和形状的样品,非常方便切换沉积模式。
腔体的开放式设计,使得样品大小从几毫米到250毫米均可镀层。样品夹具可以轻松固定多个样品并同时镀膜。此系统真空腔内连接一个300mm宽的快速通道门,可以非常方便和快速地切换样品和靶源。这对于薄膜制备研究机构,面对多种材料增加或改变沉积方式,转换起来非常方便,并没有任何空间限制。
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此系统为模块式设计,可以针对用户的具体应用来订制设计结构。
 
仪器介绍
在所有的小型高真空镀膜设备中,此设备功能强大,性能价格比非常好。
镀膜方式包含了热蒸发,电子束蒸发和磁控溅射沉积。
由于它的模块化设计,使得多数研发人员用起来非常方便,针对各种样品易于转换沉积条件,是研究人员不可获缺的镀膜工具!
 

科睿技术发展有限公司(Cross-Tech)为多家国外高科技仪器厂家在中国地区的独家代理。科睿公司一贯秉承『诚信』、『品质』、『服务』、『创新』的企业文化,为广大中国用户提供最先进的仪器、设备,最周到的技术、服务和完美的整体解决方案。在科技日新月异、国力飞速发展的中国,纳米科学研究、薄膜材料(包括半导体)生长和表征、表面材料物性分析、生物药物开发、有机高分子合成等等领域,都需要与欧美发达国家完全接轨的仪器设备平台来实现。科睿公司有幸成长在这个火热的年代,我们愿意化为一座桥梁,见证中国科技水平的提升,与中国科技共同飞速成长。

科睿技术发展有限公司(Cross-Tech)总部设在中国香港,在中国上海设立了分公司,在国内多个城市设立了办事处或维修站,旨在为客户提供全方位的产品和服务。

欢迎访问科睿技术发展有限公司(Cross-Tech) www.Cross-Tech.com.cn

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