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保证分辨率 | 3.0nm(30kV) 8.0nm(3kV) 15nm(1kV) |
放大倍数 | 5至300,000x |
加速电压 | 0.3kV至30kV |
电子枪 | 工厂预对中灯丝 |
聚光镜 | 变焦聚光镜 |
物镜 | 锥形物镜 |
样品台 | 全对中样品台 |
X-Y | 125mm-100mm |
Z | 5mm至80mm |
旋转 | 360° |
倾斜 | -10°至+90° |
排气系统 (高真空模式) | DPx1,RPx1 |
排气系统 (低真空模式) | DPx1,RPx2 |
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