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研究超大，超重，超高样品的分析型扫描电镜
●最大可载样品直径达300mm
●最大观察区域直径达203mm
●在观察110mm高样品时可进行能谱分析
●样品室设置多种接口，可安装EDS、WDS、EBSD和CL等多种分析用附件
●5轴优中心马达台可以倾斜-20度~+90度
●采用节能，清洁的涡轮分子泵
| S-3700N技术参数 | ||
| 分辨率 | SE | 3.0nm，30KV(高真空模式) 10nm， 3KV(高真空模式) |
| BSE | 4.0nm，30KV（低真空模式） | |
| 放大倍率 | x5~x300，000 | |
| 加速电压 | 0.3~30KV | |
| 低真空范围 | 6~270Pa | |
| 图像电位移 | ±50μm （工作距离10mm） | |
| 最大样品尺寸 | 直径300mm | |
| 样品台 | ||
| X | 150mm | |
| Y | 110mm | |
| Z | 5~65mm | |
| R | 360° | |
| T | -20°~90° | |
| 观测区域 | 203mm | |
| 样品最大高度 | 直径110mm（工作距离10mm） | |
| 样品台类型 | 优中心马达台 | |
| 电子光学系统 | ||
| 灯丝 | 预对中灯丝 | |
| 物镜 | 4孔活动光阑 | |
| 光阑 | 固定比例偏压、手动偏压和自动4偏压 | |
| 枪偏压 | 二次电子探头 | |
| 探测器 | 5分割半导体式被散射探头 | |
| 分析位置 | 工作距离10mm，取出角35° | |
| 显示控制系统 | ||
| 控制模式 | 键盘鼠标、操纵杆、旋钮板 | |
| 显示器 | 液晶显示器 | |
| 辅助功能 | 3D动画演示功能 | |
| 电镜操作导航功能 | ||
| 样品操作导航功能 | ||
| 倾斜补偿功能 | ||
| 存储图像精度 | 640 x 480 , 1280 x 960 | |
| 2560 x 1920 , 5120 x 3840 | ||
| 图片格式 | BMP, TIFF, JPEG | |
| 图像显示模式 | 全屏模式：1280 x 960 | |
| 标准模式：640 x 480 | ||
| 分割模式：640 x 480 点x 2 | ||
| 信号混合模式 | ||
| 真空系统 | ||
| 控制模式 | 全自动 | |
| 分子泵 | 210升/秒，一台 | |
| 机械泵 | 135升/分，一台 | |
| 保护措施 | 断电保护、漏气保护 | |
产品介绍：
Regulus8100是日立冷场发射扫描电镜的全新系列，Regulus8100保留了SU8010易维护、易操作等优点，进一步提高性能，1kV减速模式下最高分辨率达到了1.1nm，15
研究超大，超重，超高样品的分析型扫描电镜
●最大可载样品直径达300mm
●最大观察区域直径达203mm
●在观察110mm高样品时可进行能谱分析
●样品室设置多种接口
报告生成简单化 仪器支持输出Microsoft公司发行的Word®、Excel®、PowerPoint®格式，预置图像插入模板，生成报告非常简单。 2．可根据观察目的设
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