俄歇电子能谱AES表面元素分析

俄歇电子能谱仪AES,上海俄歇电子能谱仪AES元素分析,宜特检测俄歇电子能谱仪(AES)俄歇电子能谱仪(AES)是一种分析材料表面组织形态及化学结构的仪器，可适用于电机、机械、电子、材料、化学、化工等研究领域。其原理为利用电子束为激发源，当原子的内层电子受激发而脱离原子时，原子的外层电子将很快的迁降至内层电子的空穴并释出能量，而激发另一外层电子使其脱离原子，激发而脱离原子束缚离开试片表面的电子即为俄歇电子(Auger Electron)，此电子同样具有代表该原子特性的能量，因此分析俄歇电子亦可得材料成份的信息。 功能介绍Survey of the sample surface (样品表面元素分析)Auger depth profile (以Ar+(3kV 1uA)蚀刻样品表面，得到元素纵深分析)Auger mapping (在选定范围内作元素分布影像图)ECSA(XPS) (以X光照射样品表面，侦测其被游离之光电子，判定其材料元素键结分析)?关于宜特：iST始创于1994年的台湾，主要以提供集成电路行业可靠性验证、材料分析、失效分析、无线认证等技术服务。2002年进驻上海，全球现已有7座实验室12个服务据点，目前已然成为深具影响力之芯片验证第三方实验室。