日本尤尼帕斯unipulse位移测量ATOPS

产品概要

差动型 光纤位移仪

 

ATOPS，是根据独自的光纤量程，除去测量物的反射率变化的影响，实现超高分辨率和高速响应能力的光纤差动型位移仪。

最适合用于SPM的悬臂位移测量·压电陶瓷产品的位移测量·纳米压痕的位移测量·硬盘磁头的振动分析等微小位移·高速测量。测量头很小，也适用于透明体的测量。

 

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■　实现纳米超高分辨率 
■　消除测量物的反射率变化的影响
■　实现最高1MHz（选项）的高速响应能力 
■　适合用于透明体的测量
■　由于利用光纤差动工作方法使工作距离扩大
 

LCD玻璃的位移测量：

定位控制：

硬盘跳线测量：

磁带晃动测量：

回转晃动,振动模式的测量：

安装在各种设备里并测量：

压电陶瓷等的振动测量：

 

日本尤尼帕斯unipulse位移测量ATOPS工作原理：

测量探头，是在中心配置照射纤维（Illum natingFiber），在它的周围的配置受光纤维A（Receiving FiberA），并且再在它们的包围配置受光纤维B（Receiving FiberB）。

照射纤维来自激光二极管产生的平行光束根据入射角进行投射。照射纤维入射光，是通过在纤维内进行重复全反射而到达测量端向对电极进行照射。用对电极反射的光，成为测量探头上的光环，对受光纤维A和B进行投射。
 

从图1可以明白，光环的直径是与探头端面到对电极的距离g成比例的变化。根据直径的变化获得受光纤维A及B入射的光量PA，PB的差。

图2是对相应于g的PA，PB的变化模式进行表示。PA，从窄的间隙上升，另一方面PB是在一定的间隙后上升。是图中PB-PA的WR所示能进行位移测量的部分。在WR的领域下PB+PA几乎不变化。

PB-PA和PB+PA都与对电极的反射率成比例,但是，(PB-PA)/(PB+PA)则不依存于对电极的反射率值。在ATOPS上通过采用高精度模拟除法器，除去对电极的反射率的影响。

如右上图所示，对透明体进行工作情况下的光路。如果里面反射的光是在XB外侧，里面不受到干涉。与激光的高强度光组合，对玻璃等透明体表面进行高精度地检测也变成可能。

■ 放大器

■ 插件模块

■ 灵敏度表（nm/mV）

日本尤尼帕斯unipulse位移测量ATOPS公司常用型号：

赛德力长期现货供应：CSA-561   UX010LB (CSA-591)   CWV1-20T  CMP1-10T,20T   CSD-819C  CSD-815B  CSD-815B   

                CSA-507C  CSA-521  U2D1-6K,50K,100K,U3B1(各个量程），CBE1（5-50K)，LSM(1-20K)

                 CB17(各量程） C2G1,6K,20K   PRB-100MP  U2D1-6K,50K,100K,PRC-1MP，UT  UL  CSA-561  CWV1-20T  CMP1-10T,20T