您的位置:首页 > 产品展厅 > 行业设备 > 电子产品制造设备 > 其他电子产品制造设备 > 激光修复仪
LCVD激光修复机 | |||||
型号 | LCVD-G6 | LCVD-G8.5 | |||
外形 | 2,850mm(宽)x2,500mm(长)x2,500 mm(高) | 4,000mm(宽)x3,500mm(长)x2,500 mm(高) | |||
重量 | 约7500公斤 | 约10500公斤 | |||
电力需求 | 380V,50Hz, 3Phase, approx. 40A Max | 380V,50Hz, 3Phase, approx.60A Max | |||
可修复产品尺寸 | 长宽≤1500 *1850 mm(W x D) , 厚度≤3mm | 长宽≤2500 * 2200 mm(W x D) , 厚度≤3mm | |||
修复能力 | 沉积材质 | W,Cr,Mo,Al | 激光特性 | 激光系统 | DPSS激光切割系统 |
沉积线路速度 | 5~10um/s(厚度5000 Å) | CW激光沉积系统 | |||
单处缺陷修复时长 | 定位后,修复单处缺陷时间在5s左右 | 能量调节精度 | 0-1000 steps | ||
工艺参数 | 软件可以添加任意组工艺参数 | 0-100% | |||
Cutting宽度 | 2um到50um可调 | Slit 窗口调节大小 | 0~2.4mm | ||
沉积宽度 | 3um到30um可调 | Slit 窗口控制精度 | 1um | ||
沉积边缘精度 | +-0.5um | 激光能量校准方式 | 自动校准 | ||
沉积厚度 | 2000 Å ~15000Å可调 | 校准时间 | 3mins | ||
沉积线路的电阻值 | <65欧姆 (宽度5um, 长度50um,厚度5000 Å) | 激光能量校准精度 | 优于2% | ||
沉积稳定性 | 1.清洗机清洗次数>10 times | 激光波长 | Cut Laser :IR 1064nm,GRN 532nm,UV 266nm | ||
2.棉签蘸丙酮擦拭>500次 | CVD CW laser :NUV/UV | ||||
3.强酸碱测试>1H | 脉宽 | < 12 ns | |||
3.毛刷擦拭>1H | 光斑尺度 | 2.0~ @50X object 1064nm (在标准mask上测试) | |||
4.超声波1MHZ>1H | 扫描面能量均匀性 | 优于5% IR | |||
平台功能 | Gantry结构 | 龙门式 | 激光寿命 | Cut Laser:10亿次激发 | |
X-Y-Z运动行程 | LVCD-G6 1500 *1850*58mm(X-Y-Z) | CVD CW laser: 8000小时 | |||
LVCD-G8.5 2500 *2200*58mm(X-Y-Z) | 修复工作模式 | Scan扫描式和 Step模式 | |||
X-Y运动速度 | 0~400mm/s可调 | 扫描路径 | 可任意定义路径 | ||
精度(最小移动量) | 0.1um | 控制 | 工作模式 | 自动修复,实现数据的自动导入和输出,联机通讯手动或者半自动修复 | |
Z 运动速度 | 0~2mm/s可调 | ||||
精度(最小移动量) | 0.1um | 上下片 | 机械手或者流水线 | ||
重复定位精度 | +-5um | CIM系统 | 有 | ||
修复对位精度 | 0.1um | 减震 | 主动式减震系统,能够实现50X 物镜下画面不抖动 | ||
光学特性 | 光路系统倍率: | 50X~ 1000X | |||
5X ,10X ,20X , 50X NIR, 50X UV,50X NUV Objects | 工业PC | 23寸显示器&电脑:i7 处理器,1TB硬盘2块(其中一块为备份硬盘),8G内存,1G独立显卡,DVD-ROM | |||
光学分辨率 | 0.7um | ||||
物镜切换速度 | 0.2~0.7s | 通讯接口 | RS232/EtherCAT/GPIB等 | ||
切换镜头偏差 | 小于3um | 安全 | 整机带屏蔽罩,操作人员在屏蔽罩外操作 | ||
聚焦 | 激光自动聚焦 | 紧急开关EMO | |||
相机 | 200万像素 | 限位sensor,运动平台和激光系统限位互锁 | |||
照明 | 平台有下光源,并且能够上下光源切换,屏蔽罩内安装照明,照度达到1000lux以上。 | Interlock报警,自动关闭系统(软件设置为可选) | |||
应用方向 | TFT-LCD 和 OLED Array Panel 布线开路和短路的修复,Mask 的缺陷修复 | ||||
特点: | |||||
稳定的修复结果 | 功能丰富的软件 | ||||
超高的修复精度 | 可以编辑修复形状 | ||||
0.1um精度的直线电机平台 | 自动AOI定位 | ||||
极小的损伤 | 可做多工位设计 | ||||
1um的激光精度 | 自动上下片 |
坚持高度职业道德
1) 对客户我们说真话并且努力实现对客户的承诺。
2) 对供应商我们以客观、公正的态度进行挑选及合作。
3) 在公司内部,我们绝不容许贪污;不容许在公司内有派系产生;也不容许公司政治的形成。
放眼世界市场,国际化经营
我们的市场定位是在全球市场中建立竞争力。
注意长期策略,追求永续经营
我们注重企业永续经营,做长期战略规划,并认真的执行。
与供应商和客户分享我们的成功
我们视供应商何客户的竞争力为SEMISHARE的竞争力,供应商和客户的成功为SEMISHARE的成功,我们努力塑造良性循环的合作模式。
品质是我们工作与服务的原则
在SEMISHARE,品质是每一个员工的责任,我们本着追求卓越、精益求精的态度,认真的把每一件事、每一件任务做到最好,并且不断改进,力求更上一层楼。
鼓励在各方面的学习,确保高度企业活力
SEMISHARE需要不断地学习进步,常保公司充满蓬勃朝气与活力,随时秉持积极进取、高效率的处事态度,来因应瞬息万变的产业市场特性。
营造具挑战性、有乐趣的工作环境
我们要齐力塑造并维持一个具挑战性,有乐趣的环境,培养并吸引志同道合而且最优秀的人才。
建立开放型管理模式
我们要营造乐于沟通的环境,以建立开放型管理模式。同事间互相以诚信、坦率、合作相待。同事乐于接受意见,也乐于改进自己。同时,更将透过集思广益的方法接受各方看法,而在做成决定后,就团结一致、不分你我、集中力量朝共同目标戮力以赴。
努力回馈社会
我们深刻的认识SEMISHARE的成长也得力于社会及产业环境的配合,我们须要不断地尽能力回馈社会,做一个良好的企业公民。
SEMISHARE全体同事需要随时信守本公司的经营理念,并落实于工作中。
① 凡本网注明"来源:易推广"的所有作品,版权均属于易推广,未经本网授权不得转载、摘编或利用其它方式使用。已获本网授权的作品,应在授权范围内
使用,并注明"来源:易推广"。违者本网将追究相关法律责任。② 本网凡注明"来源:xxx(非本网)"的作品,均转载自其它媒体,转载目的在于传递更多信息,并不代表本网赞同其观点和对其真实性负责,且不承担此 类作品侵权行为的直接责任及连带责任。如其他媒体、网站或个人从本网下载使用 ,必须保留本网注明的"稿件来源",并自负版权等法律责任。
③ 如涉及作品内容、版权等问题,请在作品发表之日起两周内与本网联系,否则视为放弃相关权利。
④易推广页面显示产品信息均由企业自主发布,信息内容真实性、准确性与合法性由相关企业负责,易推广对此不承担任何责任,如遇非法或侵权信息欢迎监督,请联系QQ:1273397930或者发邮件至:1273397930@qq.com,如有确实证件证明属实,本站将对其删除处理,谢谢!
⑤ 本信息由注册会员:深圳市森美协尔科技有限公司发布并且负责版权等法律责任。
易推广客服微信