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GM-8三座标非接触测量显微镜
| 工作台行程 | 标配：X=150mm, Y=150mm, Z=100mm |
| 选配：X: 100mm～400mm;Y: 100mm～200mm;Z: 100mm-150mm | |
| 光学尺分辨率 | 标配：0.001mm闭式; 选配：0.0005mm闭式,0.0001mm开式 |
| 重复定位精度 | X,Y,Z: ≤0.0015mm |
| 重复调焦精度（倍率大于150X） | ≤0.0015mm |
| 系统不确定度 | 分辨率为0.001mm时：X,Y: （3.0+2×L/400）/1000 （mm）,Z≤0.005mm |
| 分辨率为0.0005mm时：X,Y: （1.5+2×L/400）/1000 （mm）,Z≤0.005mm | |
| 分辨率为0.0001mm时：X,Y: （0.5+2×L/400）/1000 （mm）,Z≤0.005mm |
| 部件名称 | 规格（标配） | 选件 | 备注 | ||
| CCD工业摄像头 | 彩色CCD（1/2”） | 黑白CCD（1/2”） | 复合或标准视频 | ||
| 工业显微镜 | 连续变倍：1:10 1.5X物镜 （50～500X） | 连续变倍：0.7-4.5X; 工业内照明高倍率长工作距显微镜，物镜倍率：3X～100X | C-Mount接口 | ||
| 计算机系统 | 商用PC，98/2000/XP | 工业控制机 ,彩色喷墨打印机 | | ||
| 测量控制软件 | TDYMS V60CNC | | | ||
| 底座 | 花岗石00级 | | | ||
| 照明光源 | 透 6V20W，反21V150W可调卤素灯 | 外接照明 | | ||
| 工作台行程 （测量范围） | X:150mm,Y:150mm，Z:100mm | X:100-400mm，Y:100-200mm Z:100-200mm | Z轴带有粗微调机构,以满足不同高度工件的测量 （80mm 范围） | ||
| 驱动方式 | X、Y、Z：CNC电动 | JOG控制盒 | | ||
| 驱动电机 | 三相步进电机 | 伺服电机 | | ||
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