【Hitachi】冷场发射扫描电镜

产品介绍：
Regulus8100是日立冷场发射扫描电镜的全新系列，Regulus8100保留了SU8010易维护、易操作等优点，进一步提高性能，1kV减速模式下最高分辨率达到了1.1nm，15kV达到0.8nm，高低电压均可满足高分辨的观察。

主要特点：
1. 配备加速电压减速功能，优秀的低加速电压成像能力，1kV分辨率可             达1.1nm
2. 日立专利E×B技术，无需喷镀，可直接观测不导电样品
3. 配备电子枪内置加热器，物镜光阑具有自清洁功能
4. SE与BSE任意比例搭配功能

样品：AlTiC基板
加速电压：1kV
倍率：2万倍

应用领域：
1、  纳米材料；
2、  半导体器件；
3、  高分子材料；
4、  生物医学；
5、  新能源。
特点：
1. 新型电子光学系统设计达到扫描电镜世界最高分辨率：二次电子0.4nm（30KV），STEM 0.34nm（30KV）。
2. Hitachi专利设计的E×B系统，可以自由控制SE和BSE检测信号。
3. 全新真空技术设计使得SU9000冷场发射电子束具有超稳定和高亮度特点。
4. 全新物镜设计显著提高低加速电压条件下的图像分辨率。
5. STEM的明场像能够调整信号检测角度，明场像、暗场像和二次电子图像可以同时显示并拍摄照片。
6. 与FIB兼容的侧插样品杆提高更换样品效率和高倍率图像观察效率。