电子洁净室

电子洁净室 电子洁净室要求 电子洁净室等级 中湖供电子行业对于无尘车间的要求:无尘车间也叫洁净厂房、洁净室、无尘室，电子工厂生产工艺分类众多，有集成电路生产（分为光掩膜、前道工序、后道工序），平南显示器生产（分为LCD，PDP,TFT,VFD,显像管），硅材料 生产（单晶硅、多晶硅），光纤生产，制卡业，表面贴装（SMT），分离器件生产（功率一、二、三级管，电容、电阻），整机组装生产（机顶盒、数字投影仪、电子数码相机），自控元器件生产（传感器、执行机构）等。由于生产工艺种类繁多，对洁净度等级要求也不同，高的很高，低的很低；对粒子粒径控制的要求也不同，范围约为0.1~5um；对温湿度控制的要求相对较 高，如集成电路前道工序一般要求室内温度基数为22℃（精度±0.1~±1℃），相对湿度基数为40%（精度±2~±5℃；正压值要求的梯度级别，随着洁净度的变化而从高到低变化，差值5~10Pa。电子行业无尘车间的冷负荷比其他行业的无尘车间大很多，单位冷负荷达400~500W/㎡很常见。由于冷负荷大，一般情况下，冬季也需要供冷，这是电子行业的特点。电子行业生产工艺过程产生的有毒有害气体种类繁多，且量也大，所以需要的排风量和新风量也大。新排风的节能措施也是行业特点之一，排放前要做处理，使排风负荷环保要求。电子行业生产工艺有抗静电、抗微振的要求，并且大宗气体和特种气体种类多，对纯度和洁净度要求高：1.电子制造厂万级洁净室内的噪声级(空态)：不应大于65dB(A)2.电子制造厂洁净室垂直流洁净室满布比不应小于60%，水平单向流洁净室不应小于40%，否则就是局部单向流了。3.电子制造厂洁净室与室外的静压差不应小于10Pa，不同空气洁净度的洁净区与非洁净区之间的静压差不应小于5Pa4.电子制造行业万级洁净室内的新鲜空气量应取下列二项中的相当大值：5.补偿室内排风量和保持室内正压值所需的新鲜空气量之和。6.保证供给洁净室内每人每小时的新鲜空气量不小于40m3。公司地址：上海市嘉定区华亭镇霜竹公路1238弄18号