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样品变温台 | |||||
特点 | | ||||
低噪声,直流电驱动 | |||||
隔离套装实现PA级电信测试精度 | |||||
隔绝水循环保护chuck底座 | |||||
可以在绝大多数探针台上加装 | |||||
易于装卸 | |||||
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规格 | |||||
真空吸附载物台的尺寸 | 4, 6, 8,英寸直径,1英寸厚度 | ||||
Chuck 平整度 | + -10 微米 | ||||
控温范围 | 常温到300摄氏度 | ||||
控温精度 | 0.1℃ | ||||
温度稳定度 | +- 1% | ||||
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从25 ℃开始升温时间 | 100 ℃ 150 ℃ 200 ℃ 300 ℃ | ||||
(4 英寸chuck,单位为 分钟:秒 ) | 1:00 2:30 3:00 4:30 | ||||
电源 | 直流 | ||||
材质 | 不锈钢 | ||||
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需求 | |||||
供电 | 220 VAC, 60Hz | ||||
电力消耗 | 4英寸chuck 700W | ||||
| 6英寸chuck 1000W | ||||
| 8英寸chuck 1500 W | ||||
真空 | -250 mmHg, 7 liter/min | ||||
循环水 | 20 Liter/Min | ||||
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尺寸 | |||||
控制器 350mm长 x 300mm宽 x 150mm高 | |||||
重20 Kg | |||||
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附件 | |||||
高温配件,可以升温至300 ℃, 400 ℃, 500 ℃, 600 ℃, 700 ℃ | |||||
低温配件,可以冷却至5 ℃, -50 ℃, -65 ℃, 或者低温至-196 ℃ | |||||
用于其他品牌探针台的安装转接口 | |||||
方形chuck | |||||
更高温度控制精度 | |||||
更高温度均匀性 | |||||
加速升温配件 | |||||
水冷箱 | |||||
更低电流测试用的屏蔽装置 | |||||
真空腔体 | |||||
测试屏蔽腔体 | |||||
真空吸附的chuck | |||||
镀金的chuck | |||||
镀镍的chuck |
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