雷射粒子計數器 Particle Counter

耀群科技为一家专业的Particle Counter设备代理商及相关在PMS微污染的防治领域应用的技术团队。代理美、日、韩等先进国家的量测仪器及其技术，其中代理美国HACH ULTRA ANALYTICS及其旗下的MetOne / Royco/ ARTI / RION (Air, Gas), Hiac(DIW, Chemicals),及High Yield Technology (HYT)等知名品牌。
耀群科技目前所专业代理服务的产品如下：
A.美国HACH ULTRA ANALYTICS是全世界最大的微粒子侦测系统Particle Counter供货商，品牌包括MetOne、ROYCO、HIAC、HYT，

分别供应无尘室class1~10K、室内空气质量、高压气体、Hepa/Ulpa泄漏量测及监控系统(FMS)、在线超纯水DIW系统、在线制程化学品溶液、

高粘度光阻及各式油品含润滑液溶剂、真空制程设备CVD, Ion Implanter, Furnace, Plasma Etcher、有关Particle量测等相关专业服务。

B.Anatel UP-100/UP-50 厂务端超纯水在线微粒洁净间控. 有关上游纯水供给端或清洗机台管路内(On-line)以及桶槽内(Off-line ; 需PUMP )的particle量测,

本公司有代测以及设备的销售部分.可实时监控液体中的particle的改变, 或了解供给端的洁净度情形, 或使用端的洁净度.
测试范围由0.1 ~ 5.0 um之间皆可; 可任选4个您所期望的 size 量测

or 0.05 ~ 0.1um, 选2个您所期望的 size 量测, 适合DIW, Ultrapure water, All chemical (Include HF acid).

C. ESD静电量测设备、TSI风速计、Rotronic 温湿度计、……等。
D.无尘室NEBB代测、专业咨询、仪器租借等服务。

E.Surface Particle Detector, Mini-environmental Monitoring System

美国Pentagon Technologies 的 QIII+ 应用于设备机台( PVD, CVD,.., Etch, Diffusion ) Chamber 内Surface Particles 量测, 可降低产品Defect和Test Wafer的使用量, 以及工作台面积台

表面洁净度..等的验证. 此已为目前机台维护作业时的标准工具之一. Q-view 为一针对Mini-environment, Factory Interface 等

F. ASYS KTC UV Particle 表面微粒子检测机 (对曝光机; 显影机 及偏光板贴附机台效果最为显著)

其UV 光 是使用用人体无害的 UVA 波长: 356nm

1.对于制程机台上之 有机物质; 油渍; 水渍; 带静电Paricle;毛屑;纤维; 胶类物质Particle 皆可观察

2.无法观察金属屑, 玻璃(可用一般强光灯 or 綠光) 3.若背景为镜面不锈钢 或完全白底 其观察效果较不显著.

4.产生较普通水银灯十倍的UV-A Output
G.美国Matec Applied Sciences超微粒径分析仪提供最新的声波检测原理，Sample不需稀释即可分析出准确的Particle Size，

提供各种不同的Particle分布分析的模式，量测范围从5nm-100um，适合用于CMP Slurny、Ceranincs、lnks、Phsrmaceutic..等。

H.Helmke Drum RTC-3000 无尘衣发尘量测试汉姆克滚筒;符合IEST-RP-003规范。

I.测试擦拭布洁净度Liquid Particle Counter

J.日本INTI ION Counter正负离子计数器测试各种环境下正、负离子的浓度与各种负

离子相关产品的离子产生数量,应用在观察 正负离子在空气中的 验证。

K.气流可视化:型号 : ASYS Air View KT-100 气流可视化纯水烟雾机

建议使用设备 ASYS Air View (纯水)使用纯水无污染; 最后与空调中之湿度调和

适合用在观察Cleanbooth;及机台运转时气流之方向

耀群科技提供完整解决的方案，相信可以成为贵公司最好的技术顾问伙伴。

PS:

台湾的客户群有台积, 联电, 华邦, 力晶, 茂德, 茂硅, 南亚科技, 通用电子, 立生, 碧悠, 元太, 翰宇彩晶, 友达光电, 广达/广辉, 奇美, 胜华, 胜开, 中华映管, 台湾凸版, 瑞仪光电, 讯昌, 光宝, 夏普, 日月光, 清三电子, 氰胺, 生达, 中化, 永日化学, 永信制药, 勇博工程, 九合工程, 龙泰无尘洗衣, 久登无尘洗衣, 安丽, 优思加, 中科院, 工研院, 工研院量测中心, 卫生署疾病管制局, 国防医学院, 台大医院, 华航, 航发中心, 核能厂等等超过500家以上,涵盖所有产业。

中国大陆的客户群有富士康集团,上海台积电,上海日月光,上海华微半导体,天马微电,南京统宝,南京四国,翰宇彩欣,宁波奇美电子,宁波奇美材料,菱宏电子,苏州联建,苏州友达,苏州和舰,苏州广辉,北京康宁,太仓龙鉅,广东长丰纺织,昆山富泰,等等超过300家以上,涵盖所有产业。

耀群科技除了Service Engineer有去HACH原厂受训并取得证书外, 苏州、上海和台湾竹北、台南也有完整的校验维修处。耀群公司直接提供 HACH原厂技术支持的服务。相信对贵公司未来在Particle所造成Defect防制上有更大的帮助。

如需更详细的资料或有关无尘室量测之任何问题欢迎随时与我连络，我们会立即为您解答。

兹提供详细目录数据，请参考！

若有任何Particle技术层面上的问题请与我联络!!
期待您的回信!!!希望能有机会能为贵公司服务
TKS and Best Regards,
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