5、工作温度 -10 ~ +60℃
最大量程 | 11000mm |
准确度 | ±3μm/M ; ±5μm/M ; ±10μm/M ; |
分辨率 | 0.5μm;1μm;2μm;5μm |
零位间隔 | 50mm(或按客户要求做) |
输出信号 | 方波(三路A、B、Z;六路);正弦;1vpp |
工作电压 | ±5V |
工作温度 | -10 ~ +45℃ |
最高工作速度 | 100M/min |
最大量程 | 11700mm |
准确度 | ±5μm/M ; ±10μm/M ; |
分辨率 | 0.1μm; 5μm |
输出信号 | 方波TTL;正弦 |
最高工作速度 | 120M/min |
最大量程 | 90M |
准确度 | ±5μm/M ;±10μm/M |
分辨率 | 1μm ;5μm |
输出信号 | 方波(三路A、B、Z;六路);正弦;1vpp |
工作电压 | ±5V |
最高工作速度 | 100M/min |
最大量程 | 100000mm |
准确度 | 1μm/M ; |
分辨率 | 0.01μm |
最高工作速度 | 2400M/min |
5、工作温度 -10 ~ +60℃
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