特长
● 洁净的真空
● 腔体内没有润滑油，对水蒸气、溶剂等气体也有稳定的排气性能
● 能在高吸入压强下运作
用途
◆ 照明、电子、光学、半导体
◆ 镀膜、溅射、离子镀、液晶注入
◆ 真空干燥、冷冻干燥、真空脱气
◆ 真空热处理炉、烧结炉、钎焊炉
◆ 分析仪器、检漏设备、CO2激光设备
| 机 型 | NB100B | NB300B | NB600B | NB1200B | |
| 抽气速率*3 | 50Hz | 95(1580) | 280(4670) | 500(8330) | 1000(16667) |
|
| 60Hz | 115(1920) | 330(5500) | 600(10000) | 1200(20000) |
| 最大吸入压力 Pa | 50Hz | 1.3×103 | 1.2×103 | 1.3×103 | |
|
| 60Hz | 1.3×103 | 9.3×102 | 1.1×103 | |
| 最大允许压力差 Pa | 50Hz | 8.0×103 | 4.0×103 | 7.3×103 | |
|
| 60Hz | 6.7×103 | 3.3×103 | 6.0×103 | |
| 极限压力 Pa*1 | 4.0×10‐1 | 6.7×10‐1 | |||
| 标准粗抽泵 | GLD-N280 | VDN401 | VSN1501 | VSN1501 | |
| 电 机 | kW (极) *2 *4 | 0.4（2） | 0.75（2） | 2.2（2） | 3.7(2) |
|
| V-Hz | 380/400/415V-50Hz、380/400/440V-60Hz | |||
| 使 用 油 | ULVOIL® R-4 | ||||
| 所需油量 L | 0.35 | 0.70 | 1.50 | 1.90 | |
| 冷却水量 L/min*6 | 空 冷 | 2 *5 | 2 | 3 | |
| 进水压力 MPa | － |
| 0.3 |
| |
| 进出水压差 MPa | － | 0.05 | 0.1 | ||
| 重 量 kg | 24 | 49 | 77.5 | 110 | |
| 吸气口径 (JIS B 2290) | 相当 VG50 | 相当 VG80 | 相当VG80 | 相当VG100 | |
| 排气口径 (JIS B 2290) | 相当VF50 | 相当VF80 | 相当VF80 | 相当VF80 | |
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