手动探针台系统

 Cascade手动探针台，可以根据用户需求提供pA、fA(三轴)或脉冲测试的直流测试需求，提供40GHz～50GHz～67GHz～110GHz～1THz不同频段客户测试要求。可提供手动高电压/电流探针台，也是同类高压探针台中最具性价比的一款。可针对半导体器件进行失效分析。可根据用户需求提供从3000V/100A的需求。系统还可兼容常温~300℃的温控升级。开放性的平台，旨在满足用户多样化的测试需求。


 
  随着新兴太赫兹应用的大量扩展，如高速5G通信，卫星，非侵入性光谱，安全和监视，医疗和保健设备以及短程汽车雷达，对精确，可靠和可重复测量数据的需求比以往变得更加重要。对于满足这些THz应用需求的器件，集成电路和新产品构建模块的研究和技术开发尤其如此。
 
 
  MPI TS150-THZ是全球首个150 mm专用探头工作站，专为mmW和THz晶圆上测量而设计，最高可达1.5 THz及以上。它提供了无与伦比的功能：无缝集成任何带状，差分或宽带频率扩展器，最高可达1.5 THz最大的机械稳定性和可重复性，易捷测试技术,手动探针台系统
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 MPI TS150-THZ


 特点与优势:


 1, 空气阶段MPI空气轴承平台设屮计，简单的单手圆盘控制，为快速XY导航和快速晶圆装载提供无与伦比的操作便利性，同时不会影响精确和精确的定位能力，附加精细和精确的25 mm x 25 mm XY-Theta千分尺运动。


 2,带探针悬浮控制™的压板提升
 
  高度可重复（1μm）的压板提升设计，带有三个离散位置，用于接触，分离（300μm）和装载（3 m廾m），带有安全锁实用程序，这些都是无与伦比的功能的例子。 MPI TS150-THZ手动探针系统。这些功能可防止意外的探头或晶圆损坏，同时提供直观的控制，准确的接触定位和安全设置。如果mmW和sub-THz范围内的探头成本太高，这种能力尤其重要。
 
 
  3,夹头Z调整
  
   TS150-THZ具有10 mm精密卡盘Z调整，设计灵活，可集成不同的频率扩展器，如KEYSIGHT，VDI或OML。对于在同一探头系统上使用多个带状解决案的设置非常有利 - 可以轻松快速地重置。附加探头Hover Control™带有悬停高度（50,100或150μm），便于探头与垫对齐
  
 
 
  4,微型定位器的多种配置
  
   专用且极其坚固的探头压板设计可容纳两个具有东西向配置的螺栓式MP80大面积微型定位器。通过将两个北和南“桥”作为标准配置，可以轻松实现四端口RF测量或DC偏置。
  
  
   5,MP80-DX 
   
    市场上另一种MPI开创性解决案 - 独特的MP80-DX，简单精确的定义，低至1μm的Δl - 是精确且经济高效的多线TRL的理想选择 - 是mmW中唯一的射频校准法和sub太赫兹范围。有关更多详细信息，请访问MPIQAlibria®软件。
   
   
    6, 各种卡盘选项
    
     TS150-THZ可提供各种卡盘选项，易捷测试技术,手动探针台系统
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     专用mmW卡盘，完全采用高导热率的特殊陶瓷（> 180 W / Km），甚至ERS AirCool RF卡盘（从20°C到200°C或更高），带有集成镀金顶面和小真空孔所有卡盘都有两个辅助卡盘，内置陶瓷材料，可提供精确的RF校准，特别是在40 GHz以上的范围内。
    
    
     7,各种光学选项
     
      专用MPI光学器件可选择单管MPI SuperZoom SZ10，立体声EyeZoom EZ10或MegaZoom MZ12，最高12倍光学变焦和超过45 mm工作距离。这种显微镜的小因素是RF和mmW应用的理想选择，因为需要与DUT最短距离的频率扩展器集成所固有的空间限制。
     
    
   
  
 



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