量产型半自动/全自动探针台

价格：电议
型号：SA-6/SA-8/SA-12
生产地：中国大陆
访问：8次
发布日期：2018/12/28(更新日期：2023/2/6)

深圳市森美协尔科技有限公司

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产品展示

超高的测试精度和超快测试速度自动alignment/找晶圆中心/测量diesize
支持单点测试和连续测试功能丰富的测试软件
便捷的仪器接入可升级自动wafer厚度测量和ID读卡

详细内容
公司简介

量产型半自动/全自动探针台
型号	SA-6/SA-8/SA-12	外形	1500（长）1700（宽）1100(高)
重量	1700kg	电力需求/功率	220VAC±10V/50Hz/2.2KW
规格参数	能够测试的晶圆直径	6,”8”,12”
	晶圆厚度	300≤T≤1000um（标准） 300≧T(薄片机型）
	晶圆厚度偏差	50um
	Index time	300ms(标准速度， die尺寸 10mm , 包括Z上下0.3mm移动的时间)
	Chuck 具备5轴移动机构	（X/Y/Z/theta/F）
	X-Y轴行程	380mm, 最高速度300mm/s, 分辨率0.1um
	XY全行程机械定位精度	±2um（环境温度在±1°以内波动时）
	XY最大速度	300mm/s
	Chuck平面度	≤5 um
	Z轴行程	37mm，探针分离高度0.3mm,速度30毫秒/0.3mm
	Z轴移动解析度	0.1um
	Z轴定位精度	±2um
	Theta 轴	±5°/0.0001°
	光栅尺	0.1um光栅尺
	预对位平台	光学原理检测，平边或者notch ±1°定位精度
	晶圆机械手	陶瓷机械手，cassette *1
	晶圆装载单元	一个升降单元，预对位单元，晶圆传输子单元以及他们的接口
	自动对位系统	自动水平扫描、自动第一测试点定位、自动测试中心定位
	自动上下片系统	料盒安全保护、晶圆定位边预对准
	精确对位单元	pattern matching
	位移传感器	采用静电容传感器，分辨率 2um （option)
	照明	同轴卤素灯照明或LED光源
	视场	低倍情况：4.93.6mm 中倍情况：10.72mm 高倍情况：0.49*0.36mm
	PC配置	I5CPU，4G内存，128G固态硬盘等
	LCD 显示器	对位显示为黑白，其他显示为彩色，中文
	键盘	单元大小 15*15mm, 46 字母数字
	报警器(三色灯)	红，黄，绿
	操作场地要求	2200mmX2200mm
	操作界面	Windows中文操作界面，中文MAPING动态显示
	标记	上下标记，标记可以实时或者离线标记，标记耗时15~300ms，采用ink或者Laser
	可以采用的cassette形式	FOUP 12/8/6”(13或者25片)；light FOUP 12/8/6”(13或者25片)，12/8/6” open cassette
可选附件	自动磨针台	可以兼容高频测试头	晶圆ID 识别功能
	可以匹配自动晶圆盒取放设备（AGV or OHT）		直接和晶圆传输控制电脑或者服务器通讯
	FOUP(front open unified Pod)有别于普通open cassette , 带有洁净气体单元（mini environment），可以在晶圆传输过程保持洁净在Class100洁净室里面，探针台内部可以达到Class 1“主体包括：控制盒，TTL，RS232，GBIP测试机接口

特点
超高的测试精度和超快测试速度			自动alignment/找晶圆中心/测量diesize
支持单点测试和连续测试			功能丰富的测试软件
便捷的仪器接入			可升级自动wafer厚度测量和ID读卡

深圳市森美协尔科技有限公司(SEMISHARE)致力半导体技术的共享事业，注于促进中国半导体行业的快速成长，目标成为半导体行业先的total solution供应商。目设有先进半导体设备制造工厂和半导体仪器代理营销事业部。

SEMISHARE半导体仪器营销事业部代理的设备包括半导体检测，修复设备：SEMISHARE品牌探针台(probe station)和激光修复机(laser repair)，I-V/C-V参数测试仪，网络分析仪，激光系统，金相显微镜，EMMI微光显微镜，X射线，C-SAM超声波探测，SEM电子显微镜。晶圆工艺设备：晶圆键合，去胶，沉积，等离子刻蚀，扩散,氧化炉，匀胶机，光刻机，磁控溅射机台，电子束蒸渡机。

SEMISHARE半导体仪器代理营销事业部立足中国深圳，香港，北京，上海，西安等城市为全中国半导体行业提供全球先进的半导体检测和工艺设备营销与技术集成服务，助力先进技术的研发。

SEMISHARE先进半导体设备制造工厂总资产达5000余万元，厂房面积约5000平方米，拥有万恒温恒湿无尘，现有员工100余人，其中业技术人员80余人，公司拥有先进的生产工艺及品控检测，主要设备有：CNC加工中心、压铸机、精雕机、CNC、光纤激光镭射机、CD纹机、批字机、各种吨位冲床、线割机、火花机、各吨位塑胶注塑机、耐磨测试仪、人工汗测试仪等。2009年，我们开始研发制造SEMISHARE品牌探针台(probe station)和激光修复设备(laser repair)，获得国家20多项利授权。

SEMISHARE拥有热诚，业的员工和遍及中国的营销及服务网络，快速响应客户需求，提供客户化的产品和端到端的服务，助力客户的成功。

目，SEMISHARE的产品和解决方案已经应用于中国500多家客户，服务中国半导体研发机构50强中的40多家。

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