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SX系列半自动晶圆探针台SX-12

SX系列半自动晶圆探针台

  • 价 格: 电议
  • 型号:SX-12
  • 生 产 地:中国大陆
  • 访问:0次
  • 发布日期:2019/4/28(更新日期:2023/2/6)

深圳市森美协尔科技有限公司

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超高的测试精度,效率和稳定性 便捷的仪器接入
多倍率同时显示光学系统
可升级大功率晶圆测试
(-60~200℃)超低噪声高低温Chuck可升级射频测试
功能丰富的测试软件
可升级全自动测试
  • 详细内容
  • 公司简介
 
SX系列半自动晶圆探针台
型号 SX-6 SX-8 SX-12
外形(W*D*H 1000mm*1400mm*1400mm 1100mm*1500mm*1400mm 1200mm*1600mm*1400mm
重量 1000KG 1150KG 1350KG
电力需求 AC220V50~60Hz
CDA需求 0.4~0.8Mpa
Chuck 尺寸 6″ 8″ 12″
X-Y轴行程 200mm*300mm 250mm*400mm 350mm*500mm
X-Y轴移动解析度 0.1μm
X-Y轴重定位精度 ≤±1μm
X-Y移动速度 ≥70mm/sec
Z轴行程 20mm
Z轴移动解析度 0.1μm
Z轴重定位精度 ≤±1μm
Z轴移动速度 ≥20mm/sec
Theta角度行程 ±10° Theta角度解析度 0.0001°
样品固定方式 多孔真空吸附,独立分开控制
更换样品方式 Chuck快速拉出
结构 三轴超低噪声设计,镀金,电学独立悬空(chuck可作为背电极)
针座平台 规格 O型平台,最多可放置12个针座(不安装八角盒时)
显微镜X-Y-Z X-Y轴行程 2″* 2″
X-Y轴移动解析度 0.1μm
X-Y轴重定位精度 ≤±2μm
X-Y移动速度 ≥10mm/sec
Z轴行程 5″
Z轴移动解析度 0.1μm
Z轴重定位精度 ≤±1μm
Z轴移动速度 ≥10mm/sec
显微镜 变倍显微镜 151三档变倍显微镜,可同时显示低倍和中倍/高倍画面,便于点针操作
相机 双相机(200W或者500W 工业级数字相机)
点针规格 点针精度 10μm / 2μm / 0.7μm
X-Y-Z行程 12mm-12mm-12mm
漏电精度 10pA / 100fA / 10fA
接口形式 香蕉头/同轴 /三轴/ SMA /SHV
固定方式 磁力吸附 / 真空吸附
温控组件 温度范围 60-200℃(标准)
温控稳定性 ±0.1
温控分辨率 0.01
升温时间(12″卡盘) 60℃至+25≤15分钟
+25
℃至+200≤25分钟
降温时间(12″卡盘) 200℃至+25≤30分钟
25 -60≤50分钟
噪声 50dB
加热方式 低压直流加热/PID控制
制冷方式 压缩机制冷
减震 减震方式 空气薄膜减震系统,确保2000X放大时画面不抖动
震动抑制 在运动过程中以及起始或者停止时能够极快的速度保证设备的平稳≤1S,提高测试效率。
系统屏蔽 EMI屏蔽 > 30 dB (typical) @ 1 kHz to 1 MHz
光衰减 ≥ 130 dB
光谱噪声基底 ≤ -180 dBVrms/rtHz (≤ 1 MHz)
系统交流噪声 ≤ 5 mVp-p (≤ 1 GHz)
软件功能 自动测量和补偿Wafer高度
自动align,校准晶圆校水平
自动测量Die size及生成map
任意wafer map 编辑
差异数据的标定Ink mark
可实时显示测试结果
可对仪表的输入输出参数进行管理编程
可对测试结果进行bin值划分,判断器件好坏
多系统集成迅速完成,可支持单点或连续测试
支持ZN形等测试
一键自动校准RF探针模块,自动清针功能
操作系统与应用分离;操作系统可独立式升级,应用独立升级
器件测试应用独立升级
强大的数据储存能力以及数据处理能力
自动保存数据以及数据曲线,且数据可远程访问
通讯接口:R232/485/TCP/IP/GPIB

    深圳市森美协尔科技有限公司(SEMISHARE)致力半导体技术的共享事业,注于促进中国半导体行业的快速成长,目标成为半导体行业先的total solution供应商。目设有先进半导体设备制造工厂和半导体仪器代理营销事业部
 
     SEMISHARE半导体仪器营销事业部代理的设备包括半导体检测,修复设备:SEMISHARE品牌探针台(probe station)和激光修复机(laser repair),I-V/C-V参数测试仪,网络分析仪,激光系统,金相显微镜,EMMI微光显微镜,X射线,C-SAM超声波探测,SEM电子显微镜 。晶圆工艺设备:晶圆键合,去胶,沉积,等离子刻蚀,扩散,氧化炉,匀胶机,光刻机,磁控溅射机台,电子束蒸渡机。
 
     SEMISHARE半导体仪器代理营销事业部立足中国深圳,香港,北京,上海,西安等城市为全中国半导体行业提供全球先进的半导体检测和工艺设备营销与技术集成服务,助力先进技术的研发。
 
     SEMISHARE先进半导体设备制造工厂总资产达5000余万元,厂房面积约5000平方米,拥有万恒温恒湿无尘,现有员工100余人,其中业技术人员80余人,公司拥有先进的生产工艺及品控检测,主要设备有:CNC加工中心、压铸机、精雕机、CNC、光纤激光镭射机、CD纹机、批字机、各种吨位冲床、线割机、火花机、各吨位塑胶注塑机、耐磨测试仪、人工汗测试仪等。2009年,我们开始研发制造SEMISHARE品牌探针台(probe station)和激光修复设备(laser repair),获得国家20多项利授权。
 
     SEMISHARE拥有热诚,业的员工和遍及中国的营销及服务网络,快速响应客户需求,提供客户化的产品和端到端的服务,助力客户的成功。
 
     目,SEMISHARE的产品和解决方案已经应用于中国500多家客户,服务中国半导体研发机构50强中的40多家。
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