薄膜压电激光干涉仪

双光束激光干涉仪 aixDBLI
(Double Beam Laser Interferometer)
双光束激光干涉仪专门用于压电薄膜的蝴蝶曲线和纵向压电系数d33的测试。
这是世界上第一台适合于从小尺寸薄膜到8英寸晶圆表征的双光束激光干涉仪。
半自动的系统用于8"晶圆上的MEMS器件的压电性和电性相关性能的测试。
大量样品测试的重复精度可达2%以上。
测试功能：
机电大信号应变、极化、压电系数、小信号介电常数。
疲劳和电性及机械性能可靠性。
样品测试：
极化曲线和位移曲线。
小信号电容及压电系数。
技术参数：
分辨率： ≤1 pm（X晶向的石英）
测量范围：5pm-  /- 25nm
波长：632.8nm
位移/应力测试：>50Hz，最小1Hz分辨率，欣源科技（北京）有限公司,欣源科技（北京）,100mV到10V（可选到200V）
压电d33系数：
  基电压100mV到10V（1mHz到1Hz屮），薄膜压电激光干涉仪
，可选到200V
  小信号100mV到10V（1kHz到5kHz）
C-V测试：
  基电压100mV到10V（1mHz到1H饣z），薄膜压电激光干涉仪
，可选到200V
小信号100mV到10V（1kHz到5kHz）
欣源科技SYNERCE独家代理德国aixACCT公司的铁电压电热释电系列产品，包括：铁电分析仪(铁电测试仪、TF2000E、TF Analyzer 2000E/3000、极化测量仪)/压电分析仪(压电测试仪)/热释电分析仪(热释电测试仪)，压电材料综合表征系统aixPES、多铁材料磁电磁阻测试仪aixPES-MR、高低温块体压电分析仪aixPES-600/800、电卡效应测试仪ECM、热激发极化电流测试仪TSDC、超薄薄膜压电双光束激光干涉仪aixDBLI、陶瓷多层执行器测试仪(aixCMA、陶瓷多层驱动器测试仪、陶瓷多层电容器测试仪)，机电薄膜e31测试仪aix4PB、阻变式存储器测试仪RRAM、铁电迟豫电流测试仪aixPES-RX、铁电自放电测试仪aixPES-DR、铁电随机存储器测试仪FeRAM、热电性能测试仪COMTESSE(塞贝克系数测试仪)等。

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