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| 面板TEG Prober | |||||
| 型号 | TEG prober-G6 | TEG prober-G8.5 | |||
| 外形 | 2850mm(宽)x2500mm(长)x2500 mm(高) | 4000mm(宽)x3500mm(长)x2500 mm(高) | |||
| 重量 | 约9700KG | 约14200KG | |||
| 电力需求 | 380V，50Hz, 3Phase, approx. 50A Max | ||||
| 可测试液晶屏尺寸 | 长宽≤1500 *1850 mm(W x D) , 厚度≤3mm | 长宽≤2500 * 2200 mm(W x D) , 厚度≤3mm | |||
| 平台功能 | Gantry结构 | 龙门式，可以选择双龙门 | |||
| X-Y-Z轴运动行程 | 1850*1500 *58mm(X-Y-Z) | 2500 *2200*58mm(X-Y-Z) | |||
| X-Y运动速度 | 0~600mm/s可调 | 探针规格 | 针卡 | 两套，可同时测试两个patten | |
| X-Y精度(最小移动量) | 0.1um | Pitch范围：定制 | |||
| X-Y重复定位精度 | ±1um | 探针材质：钨or铍铜等 | |||
| X-Y 轴驱动 | 直线电机+光栅尺 | 工作模式：可以单独测试，或者两个针卡一起测试。两个针卡间的相互距离可调。 | |||
| Z 运动速度 | 0~10mm/s可调 | ||||
| Z精度 | 0.25um | 探针和TEG对位方式 | 坐标定位 | ||
| Z重复定位精度 | ±1um | 测试过程中的二次视觉检测 | |||
| Z轴驱动 | 伺服电机+光栅尺 | 探针和TEG的接触方式 | 自动接触 | ||
| Z轴保护 | 电机自锁+机械限位保护 | 探针自动保护功能:edge sensor 和机械限位，可以根据panel厚度设定限位高度，点针的OD值可设。 | |||
| 样品台平整度 | ±50um平整度 | ||||
| 样品台涂层 | 防静电涂层 | ||||
| 样品台高低温 | Temp Chuck 或者 Thermal Stream (-55~200℃) | ||||
| 光学特性 | 光路系统倍率： | 5X ,10X ,20X，50X Objects | 探针轴旋转行程 | ±90° | |
| 放大倍率范围50X~ 500X | 探针旋转精度 | 0.01° | |||
| 聚焦 | 自动聚焦 | 旋转重复定位精度 | 0.03° | ||
| CCD | 200/500万像素工业相机 | 探针清洁 | 自动清针 | ||
| 光源 | 面背光、点背光、上光源 | 清洁后自动测针 | |||
| 光源亮度独立可调，面背光可选择分区控制 | 探针台漏电精度（安装针卡的情况） | 100fA 以内（测试标准：给针卡任意针脚加压—5V~+5V，在不吹N2的情况下，空载测试漏电流<100fA）吹氮气N2辅助干燥(Recipe 可以设置是否开启N2且N2测试报告体现开N2与不开N2区别) | |||
| 激光特性（选件） | 激光系统 | 激光切割系统（2.2mj/Pluse Maximum@50Hz) | |||
| 0-100% | |||||
| 激光波长 | 1064nm，532nm，355nm | ||||
| 光斑尺度 | 1.0um @100X object | 测试能力 | 测试系统 | 两套 | |
| 2.0um @50X object | 半导体参数测试系统:2*HRSMU+4*MPSMU+CV 测试单元+高精度矩阵开关等 | ||||
| 工作模式 | One Shot/Burst/Continue | ||||
| 形状 | 可调节的矩形 | TFT测试项目 | Ion | ||
| 控制 | 工作模式 | 自动测试，CIM通讯，实现数据的自动导入和输出 | Ioff | ||
| Vth | |||||
| 上下片 | 机械手或者流水线 | Mobility | |||
| CIM系统 | 有 | Swing | |||
| 减震 | 被动式减震系统，能够确保点针测试的稳定性 | Resistance测试项目 | Rs | ||
| 工业PC | 23寸显示器&电脑：i7 处理器，1TB硬盘2块 | Rc | |||
| (其中一块为备份硬盘)，8G内存，1G独立显卡 | 最大输送电压 | ±200V | |||
| 通讯接口 | RS232/485/TCP/IPGPIB等 | 最大输送电流 | ±1A | ||
| 安全 | 整机带屏蔽罩，操作人员在屏蔽罩外操作 | 电流测试分辨率 | 1fA（无需前置放大器） | ||
| 紧急开关EMO | 电压测试分辨率 | 0.5uV | |||
| 限位sensor，运动平台和探针系统限位互锁 | CV 测试频率范围 | 1kHz~5MHz | |||
| Interlock报警，自动关闭系统(软件设置为可选) | 接地单元电流宿能力 | 4.2A GNDU | |||
| 应用方向 | OLED/TFT-LCD Panel TEG 电学测试 | ||||
| 特点： | |||||
| 业界最快的测试速度 | 超高的测试精度 | ||||
| 稳定的测试结果 | mult-probe card设计 | ||||
| 0.1um精度的直线电机平台 | 自动清针，自动测针 | ||||
| 极小的针痕损伤 | 全自动测试 | ||||
超高的测试精度，效率和稳定性 便捷的仪器接入
多倍率同时显示光学系统
可升级大功率晶圆测试
（-60~200℃）超低噪声高低温Chuck可升级射频测试
功能丰富的测试软件
超高的测试精度和超快测试速度自动alignment/找晶圆中心/测量diesize
支持单点测试和连续测试功能丰富的测试软件
便捷的仪器接入可升级自动wafer厚度测量和ID读卡
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