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北京华旭世纪HXMF05系列气体质量流量计/控制器,采用了数字式技术,相比模拟技术,HXMF05系列产品提高了精度和数字化程度。它采用了毛细管热传感技术和热温差原理,来测量和控制气体的质量流量。由于热温差只和气体的质量流量有关,因此其测量值不受气体的温度和压力变化的影响。
HXMF05系列小流量热式质量流量产品,采用了紧凑型设计,体积小巧精致,产品坚固耐用。产品使用了线性化校正电路和EMI保护,具备安全可靠、性能稳定、低功耗、寿命长等特点。
在数据传输上,不但具备传统的有线式,还具备局域网无线传输数据,互联网远程数据监控云平台等强大功能。
::产品特色::
● 数字化技术,更快速的响应时间
● 优于1%FS的高精度
● 出色的长期稳定性
● 可测量腐蚀性气体,坚固耐用
● 精巧的外观设计,全面的安全保护电路及EMI
● 可配专用显示表,显示瞬时流量
● 诸多选项:高精度、自定义量程、流量信号无线传输
远程数据监控云平台、短*报警、邮件报警等
::典型应用::
· 光伏及晶体制备 · 真空行业及镀膜 · 泄漏检测· 炉窑及微反应装置
· 半导体行业 · 大学/研究所· 分析仪器 · 气体混合配比
· 计量及计价· 燃料电池 · 燃烧测试 · 其它气体测控场合
::性能指标::
介质要求:与介质兼容的气体,支持腐蚀性气体
介质种类:客户指定,也可现场更改-需咨询我们
标定工况:0℃ @ 1 atm(氮气)
测控量程:从0~5sccm到0~250slm任选,可定制更高流量范围
量程比:50:1
精度:±0.35%F.S.或±1.0%RD,取数值大者(FS-满量程 RD-读数)
重复性:±0.2%F.S.
流量分辨率:0.1%F.S.
响应时间:1.5S
阀门状态:常闭(仅控制器,流量计无阀门)
工作温度:5~45℃
工作湿度:0~100%RH(无冷凝)
工作压差范围:流量计 0.02MPa~3MPa
控制器 0.1~0.5MPa(>10SLM为0.1~0.3MPa)
最大耐压:3MPa,可选高压选项10MPa
输入输出信号:标准为RS485,可选0~5V
通讯协议:Modbus
供电电压:24VDC@250mA
电气接口:DB15pin,2XRJ45
泄漏率:≤1×10-10次方Pa·立方米 /S(He)
接液材质:316L SS
密封材料:根据气体种类由厂家选择或客户指定,包括:PTF、氟橡胶FKM、全氟橡胶FFKM、NBR、EPDM、CR、VMQ,等
管道接头:1/4〃VCR,1/8、1/4、3/8双卡套,3、6、8、10mm双卡套
外形尺寸:长×宽×高:127×30×128.5mm
产品重量:流量计0.75kg 控制器0.9kg
::订购信息::
· 流量计或控制器 · 气体种类 · 流量范围 · 工作温度
· 入口压力 · 出口压力 · 管道连接尺寸和类型
· 输入/输出信号 · 安装姿势 · 选项及其它特殊要求:请咨询我们
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