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探针轮廓仪(台阶仪)DEKATK150DEKATK150

探针轮廓仪(台阶仪)DEKATK150

  • 价 格: 电议
  • 型号:DEKATK150
  • 生 产 地:
  • 访问:186次
  • 发布日期:2010/9/8(更新日期:2010/9/8)

铂悦仪器(上海)有限公司

  • 提示:如果您未采购满意的产品,请在网页头部搜索更优质的产品
产品展示

集40多年的探针轮廓技术创新于一身,该系统在行业内的表现遥遥领先,以重现性最佳和标准扫描范围最大而著称。它提供各种各样的配置和附加选项,用于程序化测量、低探针力表征和细节分析
台阶仪 Dektak 150 表面轮廓仪(探针式)
  • 详细内容
  • 公司简介

 

 
规格:
测试技术:探针轮廓技术
测试功能:二维表面轮廓测试
样品视场:640*480像素,USB17 inc 平板显示器
探针传感器:低惯量传感器(LIS 3
探针压力:使用LIS 3传感器:115 mg
          使用N-lite传感器:0.0315 mg
探针选项:探针曲率半径可选范围:50 nm25 um;
          高径比针尖:10 um * 2 um 200 um*20 um
样品载物台:手动X/Y/@100*100 mm, 360度旋转,可手动校平;
            可选Y自动移动载物台,100 mm行程,1um重现性,0.5 um分辨率;
            可选X-Y自动移动载物台,150 mm行程;
            1um重现率,0.5 um 分辨率
计算机系统:主机使用celeron或者semprom处理器
软件:Dektak软件
      台阶检测软件
      可选应力测量软件
      可选三维Vision分析软件
      可选缝合软件
减震装置:可选桌式震动隔离装置
          可选台式震动隔离装置
性能
扫描长度范围 55mm(2.1英寸
每次扫描数据点最多12万数据点
最大样品厚度高达90 mm (4英寸,取决于配置
最大晶圆尺寸 150 mm(6英寸
台阶高度重现性 6
垂直范围:标准524um(0.02英寸;可选1mm
垂直分辨率:最大1A6.55um垂直范围下)
尺寸:292 mm *508 mm*527 mm
重量:34 kg
电源要求:
输入电压: 100-120VAC/200-240VAC, 50-60 HZ

 

铂悦仪器(上海)有限公司,原上海凯悦电子科技有限公司,成立于2004年,是一家专业的集销售、安装、服务于一体的进口仪器代理公司,目前铂悦是英国OXFORD光谱仪、X荧光分析仪、能谱仪等系列,美国VEECO探针及光学轮廓仪,美国FARO便携式三坐标、激光跟踪仪等产品的总代理。铂悦仪器成立至今,依托良好的产品平台和专业务实的工作团队,在业界赢得了良好的口碑。我们致力于为客户提供全面高效的产品服务,期待为您提供更多更好的解决方案。
 
VEECO 探针轮廓仪(台阶仪)DEKATK150
      光学轮廓仪          NT1100,9100,9300,9800
      原子力显微镜AFM    DI,INNOVA,MULTIMODE
OXFORD 台式直读光谱仪     FMC,FM UV
       落地式直读光谱仪   FMP
       移动式直读光谱仪   PMP,ARC-MET8000
       手持式合金分析仪   X-MET5000
FARO 关节臂
切割机、研磨机、扫描电镜等
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