您的位置：首页 > 产品展厅 > 通用机械 > 清洗、清理设备 > 其他清洗、清理设备 > Hakuto 全自动离子刻蚀机 MEL3100
Hakuto 全自动离子刻蚀机 MEL 3100 具有良好的均匀性和高蚀刻率, 均匀度 < ±5%, 刻蚀速率 >10 nm/min, 具有高冷却效果.
所有流程全自动减少人工操作, 从而保证了产品的无差错、高稳定性和高质量.
占用空间小, 容易维护和用户操作友好.
1. 所有流程全自动减少人工操作, 从而保证了产品的无差错、高稳定性和高质量
2. 盒式房间采用高效微粒过滤器
3. 采用高质量的蚀刻考夫曼离子源, 保证良好的均匀性和高蚀刻率
4. 占用空间小
5. 传输系统采用了 SCARA 型机器人
6. 控制单元系统提供操作通过触摸屏/ 10.4英寸, 数据记录可以显示在屏幕上
7. 高冷却效果
8. 良好的重复性和再现性的旋转和倾斜阶段具有良好的可重复性利用脉冲电动机
9. 容易维护这个系统设计重点是容易维护和用户友好
10. 关键部件服务伯东的经销商是系统中的关键部件涡轮泵系统、离子源提供客户快速响应时间和本地服务能力,减少停机时间的工具
Hakuto 全自动离子刻蚀机 MEL 3100 技术参数:
| Model | MEL3100 | Main body | |||
| Wafer size | 3"～6" | Power Supply | AC200V 3ph 40A | ||
| Wafer per batch | 1 wafer | *two lines | |||
| Cassette | No. | 25 wafers | Cooling Water | 15 (l/min) | |
| Q＇ty | 1pc. | <20℃ | |||
| Throughput | 10 (wafer/hr) *1 | CDA | 0.5 (MPa) | ||
| Pressure | Ultimate | 8×10-5 (Pa) *2 | >10 (l/min) | ||
| Process | 2×10-2 (Pa) *2 | N2 | 0.2 (MPa) | ||
| Etching | Rate | >10 (nm/min)@SiO2 *3 | >40 (l/min) | ||
| Uniformity | ±5%@132mm (6") *3 | Ar | 0.2 (MPa) | ||
| Wafer surface temp. | <100℃ *3 | 20 (sccm) | |||
| Stage rotating | 1～20 (rpm) ±5% | He | 0.2 (MPa) | ||
| Stage tilting | ±90°±0.5° | 20 (sccm) | |||
| Dimension W×D×H (mm) | Main body | 1,600×2,175×1,900 | *need additional utilities for Dry pump | ||
| Controller | 640×610×1,900 | ||||
| Chiller | 555×515×1,025 | ||||
| Weight (kg) | Main body | 1,700 | |||
| Controller | 200 | ||||
| Chiller | 100 | ||||
| *1: Estimated process time 5min | |||||
| *2: No wafer on stege / process chamber | |||||
| *3: Depending on process | |||||
.png)
上海伯东日本原装进口适合小规模量产使用和实验室研究的离子蚀刻机, 一般通氩气 Ar, 无污染, 内部使用美国 KRI 考夫曼离子源 KDC 40 产生轰击离子; 终点检出器采用 Pfeiffer 残余
① 凡本网注明"来源：易推广"的所有作品，版权均属于易推广，未经本网授权不得转载、摘编或利用其它方式使用。已获本网授权的作品，应在授权范围内
使用，并注明"来源：易推广"。违者本网将追究相关法律责任。② 本网凡注明"来源：xxx（非本网）"的作品，均转载自其它媒体，转载目的在于传递更多信息，并不代表本网赞同其观点和对其真实性负责，且不承担此 类作品侵权行为的直接责任及连带责任。如其他媒体、网站或个人从本网下载使用 ，必须保留本网注明的"稿件来源"，并自负版权等法律责任。
③ 如涉及作品内容、版权等问题，请在作品发表之日起两周内与本网联系，否则视为放弃相关权利。
④易推广页面显示产品信息均由企业自主发布，信息内容真实性、准确性与合法性由相关企业负责，易推广对此不承担任何责任，如遇非法或侵权信息欢迎监督，请联系QQ：1273397930或者发邮件至：1273397930@qq.com，如有确实证件证明属实，本站将对其删除处理，谢谢！
⑤ 本信息由注册会员：伯东贸易(深圳)有限公司发布并且负责版权等法律责任。
易推广客服微信
