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主体构造特点
设备包括 :设备主体、电气控制部分、显影清洗槽等,并提供与厂务供电、供气、供水、排废水、排气系统配 套的接口等。
主体 : 设备主体使用德国劳士林10mm瓷白PP
骨架 : SUS304+PP德国劳士领板组合而成
安全门: 设备安装高透明PVC上下推拉安全门,分隔与保护人员安全,边缘处设备密封条
工艺槽: 模组化设计,放置在同一个承漏底盘中,底盘采用满焊接工艺加工而成,杜绝机台的渗漏危险
管路系统: 位于设备下部,所有工艺槽、管路、阀门部分均有清晰的标签注明,药液管路采用劳士林PP管,纯 水管路采用积水CL-PVC管,废液可通过专用管道排放
电气保护: 电气控制、气路控制和工艺槽控制部分在机台顶部电控区,电气元件有充分的防护以免腐蚀以保障 设备性能运行稳定可靠
机台支脚 :有滑轮装置及固定装置并加防腐座,并且有高低调整及锁定功能
安全保障 :完善的报警和保护设计,排风压力、液位、排液均有硬件或软件互锁,直观的操作界面,清晰的 信息提示,保障了生产、工艺控制和安全性三色警示灯置于机台上方明显处
设备制造:江苏英思特半导体科技有限公司
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