电动精密真空直线导入器

主要参数

适用范围：

10⁵～5x10^-7Pa

真空漏率：

≤1x10^-10Pa.m³/s

适用温度：

-30～300℃

驱动方式：

手动

驱动方向：

直线

安装状态：

任意方向

连接方式：

CF法兰或客户指定

主要零件材料

焊接波纹管

316L

刻度圆柱

304

进给刻度盘

LV12阳极化 

订货型号

接口法兰

驱动距离(mm)

精度(mm)

L（mm）

R/E(mm)

A(mm)

B(mm)

C(mm)

D(mm)

K(mm)

LMF-N-CF35-50

CF35

50

0.02/0.01

130

56/106

34

70

47

M4X10

24

LMF-N-CF35-100

CF35

100

0.02/0.01

180

76/176

34

70

47

M4X10

24

LMF-N-CF35-150

CF35

150

0.02/0.01

230

96/246

34

70

47

M4X10

24

订货型号

接口法兰

驱动距离S(mm)

精度(mm)

L

（mm）

A

(mm)

B

(mm)

C

(mm)

MD x K

(mm)

LMF-S-CF16-50

CF16

50

0.02/0.01

184

11

34

45

M5x12

LMF-S-CF16-100

CF16

100

0.02/0.01

255

11

34

45

M5x12

LMF-S-CF35-50

CF35

50

0.02/0.01

156

12

70

47

M6x12

LMF-S-CF35-100

CF35

100

0.02/0.01

230

12

70

47

M6x12

LMF-S-CF35-150

CF35

150

0.02/0.01

310

12

70

47

M6x12