立式半导体外延石英炉管钟罩清洗机

江苏英思特半导体科技有限公司

适用于LPE外延炉,五种炉子的石英钟罩及石英件的清洗

适用对象：适用于LPE外延炉，五种炉子的石英钟罩及石英件的清洗；

基本规格：1、机台封面聚丙烯磁白PP板材（厚度≧10mm）

2、机台主机强度结构整体骨架表面喷涂处理

3、机台视窗透明、抗静电之聚氯乙烯PVC（厚度≧5mm）

选配模块：1、蚀刻液恒温系统 2、蚀刻液循环过滤系统 3、二流体喷淋系统（CGB专利技术）

4、全自动烘干系统 5、可结合客户端通讯协定资料储存、CIM系统、资料分析储存建立管理

机台特点：1、全程自动控制，工艺生产过程中不用人工干预，保证产品性能的一致性;

2、采用CGB专利技术，钟罩静止等待，通过二流体及喷淋助力装置完成均匀蚀刻清洗;

3、更全面的全自动烘干系统;

4、多级别用户工艺数据库，可供用户使用和存储;

5、作业区内有害气体多种安全主动及被动保护相结合，保证操作人员作业环境及人身安全;

6、客制化设计能力佳，高设计能力满足客户制程工艺需要;

制程控制：PLC控制方式。

设备制造：江苏英思特半导体科技有限公司

CDS自动供应系统

设备用途：本系统主要用于湿法刻蚀清洗等工序需要使用的刻蚀液集中进行配送，经管道配送至设备；具有自动化程度高、配比、操作简便等特点，而且具有良好的耐腐蚀性

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清洗机

清洗设备分为半导体清洗机、硅片腐蚀清洗机、半导体硅芯片清洗机、全自动硅片清洗机，其用途耐腐蚀，耐高温

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全自动硅料清洗机

预清洗-制绒-扩散-刻蚀-去PSG-PECVD-印刷-烧结

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