CDS自动供应系统

江苏英思特半导体科技有限公司

设备用途：本系统主要用于湿法刻蚀清洗等工序需要使用的刻蚀液集中进行配送，经管道配送至设备；具有自动化程度高、配比、操作简便等特点，而且具有良好的耐腐蚀性

自动供酸系统（CDS）

设备用途：本系统主要用于湿法刻蚀清洗等工序需要使用的刻蚀液集中进行配送，经管道配送至设备；具有自动化程度高、配比、操作简便等特点，而且具有良好的耐腐蚀性。

适用对象：HF、HNO3、KOH、NH4OH、NaOH、H2SO4、HCL、H2O2、IPA等

控制模式：手动控制模式、自动控制模式

酸液分配器：

专为酸浴的维护与准备而设计的自动酸液安全添加系统

酸液分配器是专门为了我们的Ultramatic蚀刻机而准备的，当然它也可以用来搭配其他蚀刻机。本装置有如下优点：新酸浴的快速精确预备：自动计算精确给出正确的水量，自动计算精确给出正确的酸量

酸浴的维护：水位保持恒定：加入的酸量与从酸浴中去除的体积相等，可以储存在仪器中并留待以后回收使用

酸液添加计量精确：通过计量泵，自动添加系统可以保证在精确添加正确酸量的同时，避免酸与操作者的直接接触。

考虑到需要更长的使用寿命，在材料中添加的镁含量大大增加

为了混合在Ultramatic和酸液分配器中的酸液，在每次蚀刻过程结束之后会自动开始回收泵的工作

去除酸液中的废液：用泵通过一个快速安全的排水程序，将废液输送到回收池中

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