白光干涉仪检测粗糙度

技术参数

产品型号：SuperView W1系列

产品名称：光学3D表面轮廓仪

影像系统：1024×1024
光学ZOOM：0.5×，（0.75×，1×可选）
干涉物镜：10×，（2.5×，5×，20×，50×，100×可选）
XY平台：尺寸320×200mm，行程140×110mm，电动、手动同时具备，均为光栅闭环反馈
Z轴行程：100mm，电动
Z向扫描范围：10mm
Z向分辨率：0.1nm
水平调整：±5°手动
粗糙度RMS重复性：0.005nm
台阶高测量：准确度0.3%，重复性0.08% 1σ
主要特点：非接触式无损检测，键分析、测量速度快、效率高
生产企业：深圳市中图仪器股份有限公司
注释：更多详细产品信息，请联系我们获取

SuperViewW1 白光干涉仪检测粗糙度不仅用于零件的检测，还是种在生产中用于检测轧制产品表面缺陷的设备，能完成缺陷尺寸的在线检测。在同等放大倍率下，测量精度和重复性都高于共聚焦显微镜和聚焦成像显微镜。

SuperViewW1 白光干涉仪检测粗糙度由照明光源系统，光学成像系统，垂直扫描系统以及数据处理系统构成。以白光干涉技术为原理，测量单个精密器件的过程用时2分钟以内，确保了高款率检测，具有测量精度高、操作便捷、功能全、测量参数涵盖面广的优点。它特殊光源模式，可以广泛适用于从光滑到粗糙等各种精密器件表面的测量。