佧奈尔 IKO精密升降工作台TZ 真空环境 传动器

IKO精密升降台TZ是利用楔型机构进行上下方向精密定位的升降型精密定位工作台。楔型机

构是充分利用在各种产业机械中业绩出色的IKO直线导轨技术，在紧凑的小型机构上实现了

高精度和刚性。适合使用于需要高精度的半导体、液晶制造装置和光学方面的装置。

1：紧凑的精密升降工作台，采用自创的楔形结构，小巧紧凑，可实现高精度上下方向定位

的升降工作台。

2：可根据用途选择的2种类型，2种尺寸，装有圆柱滚子直线导轨设备的高精度，高刚性型

与性价比优异的

标准型， 这两种类型分别备有120mm和200mm的工作台尺寸。备有2种楔形减速比，可实现

大行程24mm的上下方向定位。

3：通过安装线性编码器，可实现更高的定位，可作为选项指定带线性编码器，进行全闭环

控制，由此可实现更高精度的定位。

4：标配传感器，标配限位传感器，原点/原点传感器，传感器紧凑地内置于主体内部，方便

组装到机械，装置中。

5：可作为多轴构成的Z轴使用，可设置在精密点位工作台的滑台上，作为多轴工作台的Z轴

定位结构使用。

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产品介绍：

高精度・高刚性楔形机构的导向部并列配置2根圆柱滚子式C-Lube自润滑圆柱滚子直线导轨

超X，实现了高精度定位和更高

档的刚性。高定位精度由光学性线性编码器进行全闭环控制，实现了更高的定位精度。免维

护直线导向装置和滚珠丝杠都内置

润滑零件C-Lube，实现了长时间免维护。2种减速比，产品系列化楔形减速比有1:2和1:4

两种，产品系列化，用户可根据用途选

择行程长度和分解能。且可以实现上下方向大行程24mm的精确定位。标准装备传感器标准装

备限位传感器、原点和原点传感器。传感器内置于主体内部，便于安装到机械和设备上。