佧奈尔 IKO 纳米电机NT 注半导体行业

IKO纳米直线电机在钢制可动工作台部配置了磁铁和光学式线性编码器用光栅尺，在钢制底座上配置了定子线圈、线性编码器用读取头等，是磁动方式的直线电机工作台。工作台的导向部采用小型直线导轨域评价颇高的IKO交叉滚子直线导轨，通过搭配直线电机和高分解能线性编码器，实现了高精度定位。产品详情页请点击这里 通过采用高性能钕磁石，可获得大推力，虽然是小型，也可实现高速、高响应性定位。而且通过采用没有电缆的划时代驱动方式，机械接触部分只有直线导轨，实现了高洁净度。纳米直线电机适合用作半导体及液晶相关制造装置、需要洁净环境的检查装置和电子零件组装装置等设备的紧凑型定位机构。

纳米直线电机NT采用磁动方式的截面高度很低的直线电机工作台:

出色的重复定位精度工作台导向部采用滚子式“内置齿轨和齿轮形交叉滚子直线导轨”，实现了高刚性和对空气静压轴承无脉动地工作。移动过程中姿势变化小，重复定位精度出色。

实现1μm以下的定位精度和行走平直度彻底追求每个构成零件的精度，精密装配，实现了1μm以下的定位精度和行走平直度。

高速度稳定性高通过动作顺畅的“内置齿轨和齿轮形交叉滚子直线导轨”与无心动磁式直线电机、高性能伺服驱动器的搭配，实现了高速度稳定性。(10mm/s移动时，±1%以下)

1：姿势精度高

 姿势精密度高通过组合高精密度加工的零部件和齿条-齿轮内置型交叉滚子直线导轨，实现了5以下姿势精度，因移动引起的姿势变化及少，位置的再现性优异。

2：速度稳定性高

通过动作顺畅的交叉滚子直线导轨，无芯动磁铁型直线电机，高性能伺服驱动器，进步提高速度稳定性。

3：行走精度高

通过对构件进行高精度加工和组装，实现了直线度1Um 以下的高行走精度。