佧奈尔 IKO校准工作台 注半导体行业

 IKO直效准工作台：

 IKO直接驱动型校准工作台SA.DE的直线导向部使用IKO自润滑直线导轨L，旋转导向部使用IKO交叉滚子轴承，驱动部采用直接驱

动方式，是款低断面紧凑型做XYθ运动的校准工作台。校准工作台SA???DE通过高分解能线性光栅尺搭配全闭环控制，实现了没有后移间隙的高精度定位。

很适合于用作半导体和液晶制造设备等利用图像处理进行校准处理以及要求清洁环境的测量仪器和检验设备等的定位机构。

直线电机驱动：

直线电机驱动的X、Y轴有0.1μm和0.5μm两种分解能，可根据用途选择。校准工作台SA???DE的直线导向部使用直线导轨L和将直线电机驱动的可动台做双轴正交组合的XY轴，

旋转导向部的θ轴采用交叉滚子轴承和直接驱动方式，是款低断面紧凑型做XYθ运动的校准工作台。

通过高分解能线性编码器搭配全闭环控制，实现了没有后移间隙的高精度定位。

而且，直线移动用的X轴可动工作台和旋转定位部θ轴转台均已标准化，可方便地进行X轴和θ轴的组合或架构XY轴的校准工作台。接驱动型校准工作台SA.DE的直线导向部使用IKO自润滑直线导轨L，旋转导向部使用IKO交叉滚子轴承，驱动部采用直接驱

效准工作台：

 IKO直接驱动型校准工作台SA.DE的直线导向部使用IKO自润滑直线导轨L，旋转导向部使用IKO交叉滚子轴承，驱动部采用直接驱

动方式，是款低断面紧凑型做XYθ运动的校准工作台。校准工作台SA???DE通过高分解能线性光栅尺搭配全闭环控制，实现了没有后移间隙的高精度定位。

很适合于用作半导体和液晶制造设备等利用图像处理进行校准处理以及要求清洁环境的测量仪器和检验设备等的定位机构。