佧奈儿 IKO校准工作台

价格： 100元
型号：SA..DE
生产地：中国大陆
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发布日期：2022/8/22(更新日期：2022/8/26)

中敏电机（深圳）有限公司

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IKO直接驱动型校准工作台SA･･･DE的直线导向部使用IKO自润滑直线导轨L，旋转导向部使用IKO交叉滚子轴承，驱动部采用直接驱动方式，是款低断面紧凑型做XYθ运动的校准工作台。

详细内容
公司简介

1：IKO校准工作台SA･･･DE在直线导轨部使用IKO C套筒直线导轨L，在旋转导向部使用IKO
交叉滚子轴承，在驱动部采用直接驱动方式，是实现了XYθ运动的低截面紧凑型校准工作
台。产品详情页请点击这里校准工作台SA･･･DE通过组合高分辨率线性光栅尺和全闭环控
制，实现了没有背隙的高精度定位动作。包括半导体及液晶相关制造装置在内，适合作为
基于图像处理的定位处理、要求清洁环境的测量仪和检查装置等设备的定位机构。

2：直线电机驱动的X、Y轴有0.1μm和0.5μm两种分解能，可根据用途选择。校准工作台SA･･･DE的直

线导向部使用直线导轨L和将直线电机驱动的可动台做双轴正交组合的XY轴，旋转导向部的θ轴采用交

叉滚子轴承和直接驱动方式，是款低断面紧凑型做XYθ运动的校准工作台。通过高分解能线性编码器搭配全闭环控制，实现了没有后移间隙的高精度定位。

而且，直线移动用的X轴可动工作台和旋转定位部θ轴转台均已标准化，可方便地进行X轴和θ轴的组合或架构XY轴的校准工作台。

3：IKO直接驱动型校准工作台SA･･･DE的直线导向部使用IKO自润滑直线导轨L，旋转导向部
使用IKO交叉滚子轴承，驱动部采用直接驱动方式，是款低断面紧凑型做XYθ运动的校准工作台。

校准工作台SA･･･DE通过高分解能线性光栅尺搭配全闭环控制，实现了没有后移间隙的高精度定位。

适合于用作半导体和液晶制造设备等利用图像处理进行校准处理以及要求清洁环境的测量仪器和检验设备等的定位机构。

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