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实现了多种动作的定位模块
该定位模块以精密定位工作台TU为基础,组合使用高刚性型交叉滚子轴承和直线导轨,为校准工作台开发而成。
无需调整高度
高度尺寸容许公差控制在±10μm的高精度范围内。 无需调整各校准模块AM的高度,即可构建校准工作台。
可自由设计符合用途的工作台
可将校准模块AM与各种工作台和基座组合使用,自由设计符合用途的校准工作台。
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产品AM介绍:
IKO校准模組AM组合了精密定位工作台TU、高刚性型交叉滚子轴承和直线导轨E,是为校准工作台而开发的定位模块。高度尺寸的容许公差控制在±10μm的高精度范围内,无需调整各校准模块的高度即可构建校准工作台IKO。校准模块AM组合了精密定位工作台TU、高刚性型交叉滚子轴承和直线导轨E,是为校准工作台而开发的定位模块。高度尺寸的容许公差控制在±10μm的高精度范围内,无需调整各校准模块的高度即可构建校准工作台。
注半导体行业,真空环境 洁净环境等
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