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国产白光干涉仪SuperViewW1

国产白光干涉仪

  • 价 格: 电议
  • 型号:SuperViewW1
  • 生 产 地:中国大陆
  • 访问:0次
  • 发布日期:2023/5/26(更新日期:2023/6/1)

深圳市中图仪器股份有限公司

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产品展示

中图仪器SuperViewW国产白光干涉仪的光学系统基于无限远显微镜系统。通过干涉物镜产生干涉条纹,使基本的光学显微镜系统变为白光干涉轮廓仪。
  • 详细内容
  • 公司简介

中图仪器SuperViewW国产白光干涉仪的光学系统基于无限远显微镜系统。通过干涉物镜产生干涉条纹,使基本的光学显微镜系统变为白光干涉轮廓仪。它能以3D非接触方式,测量分析样品表面形貌的关键参数和尺寸,典型结果包括:

表面形貌(粗糙度,平面度,平行度,台阶高度,锥角等等);

几何特征(关键孔径尺寸,曲率半径,特征区域的面积和体积,特征图形的位置和数量等等)。

811.jpg

 

中图仪器SuperViewW国产白光干涉仪的光学系统基于无限远显微镜系统。通过干涉物镜产生干涉条纹,使基本的光学显微镜系统变为白光干涉轮廓仪。广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等域中,测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面,从纳米到微米别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等。

3.jpg

产品功能

(1)设备提供表征微观形貌的粗糙度和台阶高、角度等轮廓尺寸测量功能;

(2)测量中提供自动对焦、自动找条纹、自动调亮度等自动化辅助功能;

(3)测量中提供自动拼接测量、定位自动多区域测量功能;

(4)分析中提供校平、图像修描、去噪和滤波、区域提取等四大模块的数据处理功能;

(5)分析中提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能;

(6)分析中同时提供一键分析和多文件分析等辅助分析功能。

 

应用域

SuperViewW国产白光干涉仪的光学系统基于无限远显微镜系统。通过干涉物镜产生干涉条纹,使基本的光学显微镜系统变为白光干涉轮廓仪。对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。

应用范例:

2.jpg

 

 

针对完成样品超光滑凹面弧形扫描所需同时满足的高精度、大扫描范围的需求,SuperView W的复合型EPSI重建算法,解决了传统相移法PSI扫描范围小、垂直法VSI精度低的双重缺点。在自动拼接模块下,只需要确定起点和终点,即可自动扫描,重建其超光滑的表面区域,不见一丝重叠缝隙。

EPSI重建算法.jpg

 

SuperViewW白光轮廓仪具有测量精度高、操作便捷、功能齐全、测量参数涵盖面广的优点,测量单个精细器件的过程用时短,确保了高款率检测。特殊光源模式,可以广泛适用于从光滑到粗糙等各种精细器件表面的测量。

 

部分技术指标

型号 W1
光源 白光LED
影像系统 1024×1024
干涉物镜

标配:10×

选配:2.5×;5×;20×;50×;100×

光学ZOOM

标配:0.5×

选配:0.375×;0.75×;1×

物镜塔台

标配:3孔手动

选配:5孔电动

 

XY位移平台

尺寸 320×200㎜
移动范围 140×100㎜
负载 10kg
控制方式 电动
Z轴聚焦 行程 100㎜
控制方式 电动
Z向扫描范围 10 ㎜
主机尺寸(长×宽×高) 700×606×920㎜

恳请注意:因市场发展和产品开发的需要,本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改,恕不另行通知,不便之处敬请谅解。

如有疑问或需要更多详细信息,请随时联系中图仪器咨询。


深圳市中图仪器股份有限公司成立于2005年,致力于全尺寸链精密测量仪器及设备的研发、生产和销售。
 
中图仪器全尺寸链几何量仪器制造商

中图仪器坚持以技术创新为发展基础,拥有一支集光、机、电、信息技术于一体的技术团队,历经20年的技术积累和发展实践,研发出了基础计量仪器、常规尺寸光学测量仪器、微观尺寸光学测量仪器、大尺寸光学测量仪器、常规尺寸接触式测量仪器、微观尺寸接触式测量仪器、行业应用检测设备等全尺寸链精密仪器及设备,能为客户提供从纳米到百米的精密测量解决方案。
 
中图仪器的销售和服务网点遍及全国三十多个省、市、自治区,产品远销欧、美、东南亚等海外市场,坚持为客户提供高质量产品和服务。
 
中图仪器还将继续注于精密测量检测技术的发展,自强不息、知难而上、勇于创新,为中国制造技术的快速发展贡献力量!
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