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中图仪器SuperViewW国产白光干涉仪的光学系统基于无限远显微镜系统。通过干涉物镜产生干涉条纹,使基本的光学显微镜系统变为白光干涉轮廓仪。它能以3D非接触方式,测量分析样品表面形貌的关键参数和尺寸,典型结果包括:
表面形貌(粗糙度,平面度,平行度,台阶高度,锥角等等);
几何特征(关键孔径尺寸,曲率半径,特征区域的面积和体积,特征图形的位置和数量等等)。
中图仪器SuperViewW国产白光干涉仪的光学系统基于无限远显微镜系统。通过干涉物镜产生干涉条纹,使基本的光学显微镜系统变为白光干涉轮廓仪。广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等域中,测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面,从纳米到微米别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等。
(1)设备提供表征微观形貌的粗糙度和台阶高、角度等轮廓尺寸测量功能;
(2)测量中提供自动对焦、自动找条纹、自动调亮度等自动化辅助功能;
(3)测量中提供自动拼接测量、定位自动多区域测量功能;
(4)分析中提供校平、图像修描、去噪和滤波、区域提取等四大模块的数据处理功能;
(5)分析中提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能;
(6)分析中同时提供一键分析和多文件分析等辅助分析功能。
SuperViewW国产白光干涉仪的光学系统基于无限远显微镜系统。通过干涉物镜产生干涉条纹,使基本的光学显微镜系统变为白光干涉轮廓仪。对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。
应用范例:
针对完成样品超光滑凹面弧形扫描所需同时满足的高精度、大扫描范围的需求,SuperView W的复合型EPSI重建算法,解决了传统相移法PSI扫描范围小、垂直法VSI精度低的双重缺点。在自动拼接模块下,只需要确定起点和终点,即可自动扫描,重建其超光滑的表面区域,不见一丝重叠缝隙。
SuperViewW白光轮廓仪具有测量精度高、操作便捷、功能齐全、测量参数涵盖面广的优点,测量单个精细器件的过程用时短,确保了高款率检测。特殊光源模式,可以广泛适用于从光滑到粗糙等各种精细器件表面的测量。
型号 | W1 | |
光源 | 白光LED | |
影像系统 | 1024×1024 | |
干涉物镜 | 标配:10× 选配:2.5×;5×;20×;50×;100× | |
光学ZOOM | 标配:0.5× 选配:0.375×;0.75×;1× | |
物镜塔台 | 标配:3孔手动 选配:5孔电动 | |
XY位移平台 | 尺寸 | 320×200㎜ |
移动范围 | 140×100㎜ | |
负载 | 10kg | |
控制方式 | 电动 | |
Z轴聚焦 | 行程 | 100㎜ |
控制方式 | 电动 | |
Z向扫描范围 | 10 ㎜ | |
主机尺寸(长×宽×高) | 700×606×920㎜ |
恳请注意:因市场发展和产品开发的需要,本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改,恕不另行通知,不便之处敬请谅解。
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