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 成都GM-6工业测量显微镜GM-6工业测量显微镜

成都GM-6工业测量显微镜

  • 价 格: 电议
  • 型号:GM-6工业测量显微镜
  • 生 产 地:
  • 访问:139次
  • 发布日期:2010/5/4(更新日期:2018/4/10)

北京冠普佳科技有限公司

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测量显微镜广泛应用于半导体,电子工业进行晶体,集成电路的检验和精确测量。配备有冷光源光纤反射照明,成像和观察系统,偏光装置。
  • 详细内容
  • 公司简介

GM-6工业测量显微镜

 

    测量显微镜广泛应用于半导体,电子工业进行晶体,集成电路的检验和精确测量。配备有冷光源光纤反射照明,成像和观察系统,偏光装置。
● 无限远光学系统,管镜焦距200mm
● 铰链式三目镜筒,30°倾斜,瞳距55-75mm
● 高眼点、视场目镜WF10X/22
● 五孔物镜转换器
● 长工作距离平场复消色差物镜
    Plan Apo 2X/0.055 W.D. 34.6mm 分辨率5μm,
    Plan Apo 5X/0.14   W.D. 45mm 分辨率2μm,
    Plan Apo 10X/0.28  W.D. 34mm 分辨率1μm,
    Plan Apo 20X/0.29 W.D. 30.8mm 分辨率1μm
    Plan Apo 50X/0.42 W.D. 20.5mm 分辨率0.7μm
● 调焦系统同轴粗微调焦机构,微动格值0.002mm
● 载物台  6″x8″双层活动平台,移动行程153x204mm
● 三维测量系统  
    分辨率: 1μm
    测量精度:  ±(2+L/200)μm
    重复定位精度:  2μm
    照明系统  
     冷光源光纤反射照明器:12V150W,特别明亮清晰
     选配:
    完善和全面的测量软件
    --------完整的几何量测(如:点,线,圆,弧,角度等)
    --------坐标系的设定,摆正,旋转
    --------显示方式多样化;语言的转换,公英制单位的转换,角度的转换


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